Модульные котлы серии ACS-300 CLASSIC
Основные технические параметры и характеристики
№ п/п | Наименование показателя | Ед. изм. | ACS 300 |
1 | Теплопроизводительность котла: | МВт, (Гкал/ч)
|
|
-номинальная | 0,3 (0,258) | ||
– минимальная | 0,1 (0,086) | ||
2 | Режимы теплопроизводительности | % | 30-100 |
3 | Коэффициент полезного действия | % | 94 |
4 | Температура теплоносителя на входе минимальная | °С | 50 |
5 | Температура теплоносителя на выходе максимальная | °С | 110 |
6 | Гидравлическое сопротивление при номинальном расходе теплоносителя* | кПа | 10,25 |
7 | Рабочее давление теплоносителя максимальное | МПа (кгс/см2) | 0,6 (6) |
8 | Расход теплоносителя при номинальной тепловой мощности, номинальный (минимальный) при Δ t / ˚C | т/ч | 15,4 (10,7)/17 |
9 | Вид топлива |
| Природный, сжиженный или попутный газ |
10 | Расход природного газа (ГОСТ 5542-87): – максимальный – минимальный | нм3/ч | 33,0 11,0 |
11 | Расход попутного газа (qн=12500 ккал/м3): – максимальный – минимальный | нм3/ч |
21,9 7,3 |
12 | Расход сжиженного газа (ГОСТ 20448-90) – максимальный – минимальный |
нм3/ч | 11,4 3,8 |
13 | Давление газа перед горелочным устройством номинальное: |
кПа
|
|
– природного, попутного газа | 2,0 | ||
– сжиженного газа | 3,0 | ||
14 | Рабочий диапазон давления газа: |
кПа
|
|
– природного, попутного газа | 1,0-5,0 | ||
– сжиженного газа | 2,5-5,0 | ||
15 | Коэффициент избытка воздуха, α |
| 1,3 |
16 | Разрежение за котлом | кПа | 0. |
17 | Аэродинамическое сопротивление котла | Па | 230 |
18 | Массовый расход уходящих газов при номинальной (минимальной) тепловой мощности (при температуре окружающего воздуха 0 °С, атм. давлении воздуха 760 мм рт. ст., содерж. СО2 в ух. газах 9%) | м3/ч | 432(103) |
| 19 | Габаритные размеры, (ДxШхВ) | мм | 1492 (1328*, 1286**) х770х840 |
| 20 | Масса котла, не более | кг | 300 |
| 21 | Нагрузочный вес | кг/кВт | 1,00 |
..0,01* для корпуса “Компакт”
** для корпуса “Супер компакт”
В стандартную комплектацию ACS 300 входит:
- Горелка автоматизированная с плавным регулированием мощности с реле максимального давления газа, реле минимального давления газа,реле давления воздуха, запальным-защитным устройством, системой герметичности клапанов.
- Датчик – реле максимального давления воды.
- Термостат безопасности.
- Контроллер управления с ПИД регулятором мощности.
Автоматическая система фотолитографии – SUSS ACS300 Gen2
SUSS ACS300 Gen2 – установка нанесения и проявления фоторезиста от пилотных экземпляров до крупносерийного производства. Мощное решение для обработки пластин диаметром 300 мм.
Содержание:
Обработка толстопленочного фоторезиста
LITHOPACK300
Система предлагает превосходные характеристики в нанесении фоторезиста, спекании и проявлении пластин при работе с тонко- и толстопленочным фоторезистом или фоточувствительными полимерами, например полиимидом или циклотеном Cyclotene™ (BCB).
Благодаря лучшей среди моделей данного класса способности нанесения резиста, равномерности проявления и исключительным характеристикам по удалению резиста с края пластины установка ACS300 Gen2 является эффективным и экономичным решением для рынка интегральных микросхем.
ACS300 Gen2 является гибким, экономичным и эффективным решением в области нанесения резиста от компании SUSS MicroTec, которое отвечает различным производственным потребностям и может быть дополнено устройствами различных поколений.
Особая система для рынка интегральных микросхем
Установка ACS300 Gen2 предназначена для использования в области интегральных микросхем и служит для формирования столбиковых выводов из припоя, из золота, а также для перераспределения слоев (RDL) с передней стороны, которое используется при формировании корпусов, сравнимых с размерами кристалла, или для перераспределения слоев задней стороны для 3D-интеграции.
Результаты покрытия ACS300 Gen2:
|
|
|
|
|
AZ1505 позитивный фоторезист Тестовый диам: 290 мм |
JSR WPR Фоточувствительный диэлектрик Тестовый диам.: 296 мм Std. Dev: 0.30 % Выс/низ. колебания: 0.71 % |
AZ10XT Позитивный фоторезист Тестовый диам.: 288 мм |
|
|
|
|
|
HD-4000
Полиимид Тестовый диам. : 284 мм Среднее: 17.1 мкм Стд. откл.: 0.31 % Выс/низ. колебания: 0.78 % |
TOK Pmer P/CA1000PM позитивный фоторезист, химически усиленный Тестовый диам.: 294 мм |
AZ40XT позитивный фоторезист Тестовый диам.: 290 мм |
|
|
|
|
JSR THB 151-N
негативный фоторезист Тестовый диам.: 295 mmСреднее: 72.0 µm Стд. откл.: 1.31 % Выс/низ. колебания: 3.95 % |
JSR THB 151-N негативный фоторезист, двойное покрытие Тестовый диам. |
: 294 мм
Эксперт в области обработки толстопленочного фоторезиста
Сложности обработки фоторезиста в области формирования столбиковых выводов на полупроводниковой пластине, упаковки на уровне пластины и 3D-интеграции требуют тщательного подбора модулей нанесения, задубливания и проявления для достижения оптимальных результатов обработки. Система ACS300 Gen2 предназначена для создания слоя фоторезиста различной толщины в диапазоне от менее одного до более ста микрон. Для работы с толстопленочным фоторезистом требуется конфигурация модуля нанесения, которая позволит справиться с высокой вязкостью материала и получить исключительно однородные пленки.
Нанесение толстопленочного фоторезиста.
ACS300 Gen2 обеспечивает контроль загрязнения и предлагает опции автоматизированной очистки, что особенно важно при обработке материала с высокой вязкостью. Сочетание точности удаления наплава фоторезиста с края материала и оптимизированная конструкция держателя/чаши гарантирует лучшие результаты среди моделей данного класса.Задубливание толстопленочного фоторезиста
Для обеспечения превосходных характеристик задубливания ультра-толстопленочных фоторезистов ACS300 Gen2 предлагает полностью программируемые циклы задубливание с зазором, что позволяет оптимизировать соотношение времени и температуры задубливания. Симметричная конфигурация вытяжки и продувки гарантируют равномерное удаление растворителя по всей площади пластины в процессе задубливания. При использовании таких циклов равномерно распределенное содержание растворителя в слое фоторезиста готовит подложку к последующему экспонированию и проявлению.
Проявление толстопленочного фоторезиста
SUSS MicroTec использует в своих системах элементы, которые позволяют добиться исключительно равномерного проявления фоторезиста с минимальным расходом материалов за малое время.
Химические вещества проявителя нагреваются управляемым способом и наносятся на пластину с помощью распыляющих сопел различной конфигурации. Рисунок распыления управляется поворотами руки, которые настраиваются пользователем. Для оптимизации воздействия проявляющих материалов и нанесения покрытия на пластину используется настраиваемый в рецепте зазор распыляющих рук. При проявлении тонкопленочных фоторезистов и других полимеров система ACS300 Gen2 демонстрируется исключительную равномерность распределения и стабильность благодаря контролю расхода материала, скорости вращения и температуры в точке использования.
| Формирование столбиковых выводов из припоя | Формирование столбиковых выводов из золота | Распределение слоев | Формирование медных столбиковых выводов |
|---|---|---|---|
|
Нанесение и проявление фоторезиста |
Нанесение и проявление |
Трассировка слоев |
Формирование |
|
Сухое проявление пленки |
диэлектрики |
||
|
Полиимид для репассивации |
Литография для 3D-интеграции |
Технология GYRSET
Процесс нанесения фоторезиста с закрытой крышкой по технологии GYRSET® позволяет создать уникальную не содержащую завихрений среду, насыщенную растворителем, над подложкой в процессе нанесения резиста, что значительно уменьшает воздействие температуры и влажности окружающей среды на результаты обработки.
Во-первых, поток воздуха над пластиной не образует завихрений, поскольку среда в закрытом пространстве вращается с той же скоростью, что и подложка. Фоторезисты, предназначенные для работы с пластинами диаметром 200 мм, не всегда подходят для пластин 300 мм, поскольку необходимые скорости вращения выше допустимого предела для приграничного потока воздуха. В результате, при центрифугировании с превышением критического предела скорости по краям пластины образуются полосы и неоднородности. При работе с подложками не круглой формы, например квадратными, такое происходит даже на более низких скоростях. Технология GYRSET® позволяет исключить такие завихрения практически полностью.
Во-вторых, насыщенная растворителем среда поддерживает материал на уровне близком к исходной вязкости более продолжительное время. Таким образом, фоторезист также может разравниваться дольше, чем при стандартном нанесении покрытия с открытой чашей.
Центрифуга
Технология GYRSET® позволяет наносить однородные покрытия на пластины диаметром 200/300 мм, а также квадратные подложки с минимальным расходом фоторезиста. Возможно использование процессов как с открытой, так и с закрытой крышкой.
Модули нанесения фоторезиста имеют три независимых линии распыления с опционным контролем температуры на каждую руку. Настройки использования растворителя позволяют добиться точности при удалении наплывов резиста на краях пластины и промывке задней стороны. Опция автоматической очистки дает возможность промыть каждое сопло отдельно. Автоматическая очистка камеры обеспечивает простоту обслуживания и увеличивает время непрерывной эксплуатации.
Этажерочный модуль с нагревательной плитой
Этажерочный модуль ACS300 Gen2 HCV можно дополнительно оборудовать 7 кассетами с нагревательными или охлаждающими плитами или вакуумным праймером ГМДС, который занимает в модуле две ячейки. Один этажерочный модуль можно установить непосредственно в ACS300 Gen2, и еще два в дополнительное расширение рамы.
Кассеты оснащены моторизованными подъемными штифтами с настраиваемой высотой подъема и неподвижными ограничителями минимального зазора, что гарантирует оптимальные результаты задубливания. Испарения растворителя выводятся с помощью вытяжки и продувки азотом.
Модуль проявления
Для проявления экспонированных пленок доступен целый ряд опций. Стандартными конфигурациями являются бинарный спрей, веерный спрей и распыление наливом. Возможна настройка движений рук и их высоты для достижения лучшей геометрии распыления.
Для оптимального контроля однородности в каждом рецепте возможна настройка образцов движений рук.
Контроль температуры в точке использования гарантирует равномерное воздействие в процессах, чувствительных к температуре.
Модуль ввода/вывода (i/o)
Система ACS300 Gen2 предлагает два варианта загрузки/выгрузки. К раме машины можно напрямую подсоединить до двух модулей с загрузочными портами. При использовании отдельного монитора EFEM система ACS300 Gen2 может быть дополнительно оборудована 4 модулями с загрузочными портами, которые имеют встроенную функцию картирования пластины и могут использоваться со стандартными устройствами FOUP или FOSB. Схема «полного моста» обеспечивается с помощью кассетных переходников, что позволяет использовать пластины диаметром 200 мм. Система ACS300 Gen2 предлагает возможность одновременной обработки пластин диаметром 200 и 300 мм без механической замены.
Интеграция технологической схемы
В каждой раме один центральный шестикоординатный робот обслуживает до 4 модулей нанесения.
Для расширенных конфигураций возможно дальнейшее увеличение количества роботов. Шестикоординатный робот сочетает максимальную скорость и точность с большим диапазоном действия.
Робот имеет максимальную номинальную нагрузку более 3 кг, что позволяет ему перемещать подложки с большим весом, например сложенные пластины или кассетные решения из стекла, кремния или керамики. Бесконтактное центрирование пластины осуществляется с помощью оптической системой предварительного совмещения, которая использует видеосистему установки для определения положения пластины. Отклонения в совмещении исправляются роботом.
Шкаф с материалами
Шкаф с материалами оснащен отдельными ящиками для обеспечения легкого доступа к резисту и химическим веществам. Танки можно заполнять из центрального трубопровода. Автоматическая смена танка и бутыли обеспечивает непрерывную эксплуатацию. Доступен широкий ряд настроек подачи материалов.
В зависимости от конфигурации системы в специальные отделения системы можно напрямую установить большее количество танков и бутылей с фоторезистом.
Это гарантирует максимально короткие линии распыления, что особенно важно при работе с вязкими материалами.
Технология системы управления
Проверенное в производственных условиях ПО системы ACS300 Gen2 предлагает самую современную технологию из существующих на рынке в данный момент. Установка работает на базе операционной системы Windows 7 в сочетании с ПО мультимодульного контроллера (ММК).
Интерфейс пользователя графически отображает текущий статус всей установки. Для удобства обслуживания каждый модуль имеет отдельный доступ. Управление интуитивное и простое в освоении. Расположение и статус каждой пластины в установке отображается в режиме реального времени. Компоненты контроллера и ПО имеют стандартный дизайн для удобства эксплуатации.
Рецепты процесса и последовательности действий создаются в несколько нажатий. Функция каскадного запуска последовательностей обеспечивает непрерывный поток подложек даже при смене последовательности.
Оператор может управлять различными процессами и размерами подложек одновременно. Он может, например, запустить одну кассету пластин в режиме нанесения резиста, а другую – в режиме проявления. Редактирование последовательности и моделирование процесса в режиме онлайн и офлайн возможны даже во время работы.
Подробные протоколы и состояния E10 упрощают отслеживание пластин и устройств. Кроме того, доступен главный интерфейс, совместимый со стандартами SECS-II/GEM (SEMI E4/ E5/E30/E37) и 300 мм (SEMI E40/E87/E90/E94 и E116).
LITHOPACK300 – интегрированное решение для нанесения, задубливания, экспонирования и проявления
SUSS LithoPack300 – специальная система для обработки пластин диаметром 200 и 300 мм с помощью модулей нанесения, задубливания, экспонирования и проявления.
Она позволяет производить быструю смену между пластинами 200 и 300 мм и является решением в области литографии для производителей оптоэлектронных ИС и микроэлектронных производств.
Новые поколения системы ACS300 для нанесения/проявления резиста, а также установки совмещения МA300 компании SUSS MicroTec являются беспрецедентными решениями в области литографии.
Модуль mA300 Gen2
Система экспонирования MA300 Gen2 представляет собой установку совмещения с зазором всей поверхности пластины диаметром 300 мм, которая позволяет провести экспонирование за один шаг, что обеспечивает формирование структуры без снижения производительности. Это чрезвычайно важное преимущество установки совмещения перед технологией пошагового экспонирования, особенно если требуется последующая металлизация столбиковых выводов методом электроосаждения.
Установка SUSS MA300 включает в себя специальный набор инструментов совмещения для создания интегральных межсоединений для этажерочной архитектуры чипов или 3D-интеграции.
ACS300 Gen2 представляет собой модульную кластерную систему, которая составляется из рамочных компонентов и технологических модулей в идеальном соответствии вашим требованиям.
Расширяемая архитектура системы с технологическими модулями с возможностью модернизации на месте обеспечивает полную гибкость, начиная со стадии разработки и до крупносерийного производства.
Compcut ACS 300 — решения Compcut Intuitive Cutting Solutions
CNC MATERIAL FENCE- Пневматические зажимы для зажима различных материалов
- Автоматическое позиционирование для повторного производства без вмешательства пользователя
- Двойной привод для исключительной перпендикулярности и параллельности
- Повторяемый
- Жесткость узла оси X обеспечивает превосходное качество поверхности
- Чистая рабочая зона с режущей головкой под столом
- Простая замена лезвия
- Шариковый винт с сервоприводом обеспечивает плавную и точную подачу при резании
- И ламинат, и вырезанный образец фиксируются в процессе резки
- Постоянное струйное охлаждение по всей длине реза
- Диалоговое ЧПУ упрощает использование
- Программируемая часть для автоматической обработки
- Параметры материала сохраняют оптимальные скорости подачи и скорости шпинделя для каждого ламината
- Доступна удаленная поддержка
- Мешочная фильтрующая система для простоты обслуживания
- Насадка для промывки для легкой очистки
- Системы рециркуляции или 100 потерь
- Возможность использования нескольких охлаждающих жидкостей
- Полностью закрытая рабочая зона
- Подключение к внешнему пылеуловителю
- Маркировка CE в соответствии с применимыми стандартами
- Полностью заблокированная система
- Мешочная фильтрующая система для простоты обслуживания
ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Объем материала | |
|---|---|
| РАЗМЕР ПАНЕЛИ С ОЧИЩЕНИЕМ | 300X300 мм |
| ТОЛЩИНА/ГЛУБИНА РЕЗАНИЯ* | 0–20 ММ ИЛИ 0–30 ММ |
СТОЛ ДЛЯ ПЕРЕДНИХ ОБРАЗЦОВ | 350 мм |
ХОЛОДИЛЬНАЯ СПОСОБНОСТЬ | ОХЛАЖДАЮЩАЯ ЖИДКОСТЬ С РУКАВНЫМ ФИЛЬТРОМ |
| Корпус | |
КОРПУС | ПОЛНОСТЬЮ ЗАКРЫТЫЙ – ВЫДВИЖНОЙ |
| Шпиндель | |
| СКОРОСТЬ | 2000 ДО 4500 ОБ/МИН |
| МОЩНОСТЬ ШПИНДЕЛЯ | 1,5 кВт |
| РАЗМЕР НОЖА | 200–250 мм |
| ТОЛЩИНА НОЖА | 1,5–3,5 мм |
| Скорости | |
| БЫСТРЫЕ СКОРОСТИ X,Y,Z | 60 мм/с |
| СКОРОСТИ РЕЗКИ | 0,1 – 40 мм/с |
| Точность, перпендикулярность, параллельность | |
| ТИПИЧНЫЙ ОБРАЗЕЦ ПЕРПЕНДИКУЛЯРНОСТЬ | 0,03 мм |
| ТИПИЧНЫЙ ОБРАЗЕЦ ПАРАЛЛЕЛЬНОСТЬ / 100 ММ* | 0,03 мм |
| ТИПИЧНЫЙ ОБРАЗЕЦ ПАРАЛЛЕЛЬНОСТЬ / 300 ММ* | 0,04 мм |
| ТИПИЧНЫЙ ОБРАЗЕЦ ПАРАЛЛЕЛЬНОСТИ / ПАНЕЛЬ | Н/Д |
ТИПИЧНЫЙ ОБРАЗЕЦ ТОЧНОСТЬ РАЗМЕРОВ | 0,05 мм |
ТИПИЧНЫЙ ОБРАЗЕЦ ПАРАЛЛЕЛИЗМ Z ПЛОСКОСТИ | 0,03 град |
| Внешние размеры: (Ш) x (Г) x (В) | |
| ШИРИНА* | 1220 мм |
| ГЛУБИНА* | 1040 мм |
| ВЫСОТА* | 1500 мм |
| Необходимые услуги | |
| МОЩНОСТЬ | 220 В 1 фаза 16 А |
| ВОЗДУХ – СУШЕННЫЙ И ФИЛЬТРИРОВАННЫЙ | 70-100 фунтов на квадратный дюйм |
| ВЫБОР | СПЕЦИФИЧЕСКОЕ ПРИЛОЖЕНИЕ |
на базе Margam в Южном Уэлисе, R-Tech Material предлагая уникальное сочетание аккредитованных услуг по тестированию, а также обширный промышленный опыт и знания материалов, охватывающих широкий спектр отраслей промышленности.
их команда по композитам позволяет создавать высокоточные образцы тестовых ламинатов, являющихся неотъемлемой частью их процессов тестирования композитов. Компания твердо убеждена в том, что извлечение образцов является критически важным элементом любого комплексного режима испытаний.
Д-р Герайнт Хавард, менеджер по композитным материалам R-Tech, комментирует: «Наше исследование технологии Compcut было во многом обусловлено нашим предыдущим опытом резки образцов с использованием пилы для плитки с алмазным диском — трудоемкий и часто неточный процесс с вариациями. в консистенции вывода. В дополнение к техническим характеристикам нас также привлекли аспекты безопасности пользователя устройства Compcut, поскольку, будучи компанией, аккредитованной в соответствии со стандартом ISO 45001, мы уделяем большое внимание здоровью и безопасности персонала».
Зная о репутации и характеристиках Compcut 300, компания R-Tech смогла увидеть «живую» демонстрацию практических возможностей машины на стенде Compcut на выставке Advanced Engineering Show 2019.
Команда R-Tech смогла предоставить выборку своих собственных образцов материалов и лично убедиться в способности Compcut быстро разрезать тестовые образцы с чрезвычайно высокими стандартами точности и воспроизводимости.
Под впечатлением как от практической демонстрации, так и от взаимодействия с уникальной интуитивно понятной и простой в использовании операционной системой Compcut отдел тестирования материалов приобрел свой Compcut 200 в декабре 2020 года. Устройство расположено в испытательном центре R-Tech в Порт-Талботе. Кевин Таппин из Compcut руководил доставкой, установкой и вводом в эксплуатацию устройства на месте, что само по себе является сложной задачей с соблюдением строгих правил социального дистанцирования!
Устройство было немедленно введено в эксплуатацию, что помогло оптимизировать процесс производства образцов R-Tech, позволив всей технической группе быстро и многократно производить образцы в соответствии с неизменно высокими стандартами — одним махом покончив с предыдущей трудоемкой практикой получения операторы производят различные стандарты образцов!
Д-р Герайнт Хавард, менеджер по композитным материалам R-Tech, комментирует: «После появления Compcut 300 мы уже начали рассматривать его как жизненно важный актив, помогающий оптимизировать процесс производства наших композитных образцов для испытаний.
Интуитивно понятная операционная система позволила нашей технической группе сразу же начать работать с машиной, быстро изготавливая образцы в соответствии с высочайшими стандартами точности и воспроизводимости.
В настоящее время мы можем постоянно производить широкий ассортимент и количество образцов в соответствии с единым и последовательным стандартом.
Все это является важным фактором для поддержки и обеспечения надежной согласованности всех результатов наших испытаний как сейчас, так и в будущем по мере дальнейшего расширения наших отмеченных наградами услуг испытательной лаборатории».
NB. Д-р Хавард имеет опыт работы в области машиностроения и материаловедения и в 2020 году был признан «Сотрудником года по композитам в Великобритании»
Контроллер клавиатуры Brivo ACS100
Написать рецензию
Brivo
IP-контроллер Brivo ACS300
Рейтинг Требуется Выберите Рейтинг1 звезда (худший)2 звезды3 звезды (средний)4 звезды5 звезд (лучший)
Имя
Электронная почта Требуется
Тема отзыва Требуется
Комментарии Требуется
Свяжитесь с отделом продаж по телефону +1 (866) 739-8588 или [email protected]
Описание
Brivo ACS300 — это контроллер Ethernet/Wi-Fi следующего поколения, предназначенный для поддержки компонентов платформ управления доступом Brivo Access и Brivo Onsite Server.
