Π£Π½ΠΈΠ²Π΅Ρ€ΡΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ внСшний Π½Π°ΠΊΠΎΠΏΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ для всСх iOS-устройств, совмСстим с PC/Mac, Android
Header Banner
8 800 100 5771 | +7 495 540 4266
c 9:00 Π΄ΠΎ 24:00 ΠΏΠ½-ΠΏΡ‚ | c 10:00 Π΄ΠΎ 18:00 сб
0 Comments

Π‘ΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅

LTCC тСхнология

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ для производства многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ являлись органичСскиС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌΠΈ значСниями диэлСктричСской проницаСмости (FR-4, Ξ΅r = 3,5 – 4,5) ΠΈ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° с высокими значСниями диэлСктричСской проницаСмости (Ξ΅r = 10 – 12). Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΡ… частот элСктронных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π»ΠΎ создания Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π±Ρ‹, с ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ стороны, позволял Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ многослойныС ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΈ, с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ стороны, Π½Π° высоких частотах ΠΈΠΌΠ΅Π» Π±Ρ‹ характСристики, схоТиС с ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ. Новый ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ» Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ низкотСмпСратурная совмСстно обТигаСмая ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° (Low Temperature Cofired Ceramic (LTCC)).

ΠœΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Π΅ кСрамичСскиС ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π»ΠΈΡΡŒ ΠΈΠ· оксида алюминия Al2O3 (High Temperature Cofired Ceramic – HTCC-тСхнология). Π”Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» обТигался ΠΏΡ€ΠΈ высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… (Π’ β‰₯1500Β°C), поэтому слои ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ»ΠΈΡΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΈΠ· Ρ‚ΡƒΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΡ… ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ²: Π²ΠΎΠ»ΡŒΡ„Ρ€Π°ΠΌΠ° ΠΈ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½Π°. Π­Ρ‚ΠΎ вносило ряд ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ Π² Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ возмоТности ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ², Π² ΡƒΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ сниТСниС стоимости производства.

Π‘Π²ΠΎΡ‘ дальнСйшСС Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ многослойная ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»Π° с Π²Π½Π΅Π΄Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ LTCC, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΡƒ Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡˆΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ со ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ стСклами . Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ снизилась Π΄ΠΎ 850Β°Π‘, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π»ΠΎ ΠΊ сущСствСнному ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΡŽ производствСнного процСсса. Π’ настоящСС врСмя ΠΊ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ LTCC относят ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΡƒ, ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… Π½ΠΈΠΆΠ΅ 1000Β°C.

НизкиС ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ Π‘Π’Π§ ΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ нСвысокая ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ производства ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ прСимущСствами LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ для Π’Π§ ΠΈ Π‘Π’Π§ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ². По стоимости LTCC тСхнология приблиТаСтся ΠΊ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π½Π° основС FR-4, Π° ΠΏΠΎ своим диэлСктричСским характСристикам низкотСмпСратурная ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° сопоставима с алюмооксидной ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ прСимущСства ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ

Π‘Ρ€Π΅Π΄ΠΈ основных прСимущСств ΠΈ особСнностСй LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅:

  • ΠžΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΈΠ΅ элСктричСскиС характСристики ΠΈ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½. Π’ зависимости ΠΎΡ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² диэлСктричСская ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΡ†Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π²Π°Ρ€ΡŒΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΎΡ‚ 6 Π΄ΠΎ 9, Π° тангСнс ΡƒΠ³Π»Π° диэлСктричСских ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ ΠΎΡ‚ 0,001 Π΄ΠΎ 0,006 Π² Π³ΠΈΠ³Π°Π³Π΅Ρ€Ρ†ΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅. Π’ качСствС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹ с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ сопротивлСниСм (Ag, Au, Pt).
  • ΠŸΡ€Π΅Π²ΠΎΡΡ…ΠΎΠ΄Π½Π°Ρ мСханичСская ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ сохранСниС Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ². Π­Ρ‚ΠΎ прСимущСство Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ коэффициСнта Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ (5-7 ΠΌΠΊΠΌ/ΠΌΠ‘), Π½ΠΎ ΠΈ ΠΈΠ·-Π·Π° эластичных свойств Π² ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€.
  • Низкий КВР. КВР Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΎΠΊ ΠΊ КВР основных ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² элСктроники (Si, GaAs, InP). Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΌΠΎΠ½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ кристаллы нСпосрСдствСнно Π½Π° основаниС ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹.
  • Π₯ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ°Ρ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ LTCC ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ составляСт 2-4 Π’Ρ‚/мК, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, Ρ‡Π΅ΠΌ Ρƒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π½Π° основС органичСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (0,1-0,5 Π’Ρ‚/мК). Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ LTCC Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½Π° Π·Π° счёт создания Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… стоков с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ (Π΄ΠΎ 20 Π’Ρ‚/мК).
  • Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ 3D ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ. МоТно Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ полости, отвСрстия, ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ, встроСнныС пассивныС ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹.
  • Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ высокотСмпСратурной ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ. ΠŸΠ»ΠΎΡ‚Π½Π°Ρ структура LTCC ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π½Π΅ пропускаСт Π²Π»Π°Π³Ρƒ, поэтому корпуса ΠΈΠ· ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ Π² атмосфСрС с высокой Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π±Π΅Π· Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ LTCC ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ Π² ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ органичСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΡΠΎΡ…Ρ€Π°Π½ΡΡŽΡ‚ свои свойства Π²ΠΎ Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ срСдС (большая Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ органичСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² сильно ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΅Π½Π° влиянию Π²Π»Π°Π³ΠΈ).

Π’ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊ этому тСхнология LTCC Π΄ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»Π° свою Π½Π°Π΄Ρ‘ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΡ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌ спСктрС Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ Π‘Π’Π§ элСктроники. Благодаря всСм Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡ΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ особСнностям, LTCC тСхнология нашла ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² создании многослойных ΠΏΠ»Π°Ρ‚ для высокочастотных элСктронных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ², корпусов микросхСм ΠΈ выступаСт Π² качСствС Π°Π»ΡŒΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ‚ΠΈΠ²Ρ‹ многослойным ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°ΠΌ ΠΈΠ· стСклотСкстолита ΠΈ высокотСмпСратурной ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ.

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ с корпусами Π½Π° основС Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ совмСстно ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΡƒΡΠΏΠ΅ΡˆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π² Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ, ΠΏΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π±ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠΉ элСктроникС, тСлСкоммуникациях, спутниковых систСмах ΠΈ Π² Π²ΠΎΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… издСлиях. ΠœΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½Ρ‹ устройств ΡƒΠΆΠ΅ созданы Π½Π° основС LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π² настоящСС врСмя.

Π˜Π·Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ LTCC тСхнология использовалась для крупносСрийного производства Π‘Π’Π§ устройств. Но благодаря своим диэлСктричСским ΠΈ мСханичСским свойствам, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ надёТности ΠΈ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, низкотСмпСратурная ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π° Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΈ для производства Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… сСнсоров, мСханичСских систСм (МЭМБ-устройств) ΠΈ Ρ‚Ρ€Ρ‘Ρ…ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… структур.

ВСхнология производства LTCC

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ производства ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΈΠ· LTCC ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ начинаСтся с создания кСрамичСской суспСнзии ΠΏΡƒΡ‚Ρ‘ΠΌ смСшивания кСрамичСского ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ°, органичСских ΡΠ²ΡΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ…, растворитСлСй ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΠΊ. Из суспСнзии впослСдствии формируСтся кСрамичСская Π»Π΅Π½Ρ‚Π°. Π›Π΅Π½Ρ‚Π° нарСзаСтся Π½Π° листы Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² Π² соотвСтствии с ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ производится Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий, Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий проводящСй пастой ΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… проводящих ΠΈ рСзистивных паст. ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ листы ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ, Π»Π°ΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ, Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅Π·Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ элСмСнты ΠΈ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°ΡŽΡ‚ΡΡ. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, состоит ΠΈΠ· этапа изостатичСского Π»Π°ΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… 60-70Β°Π‘ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, этапа выТигания ΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… 450-500Β°Π‘ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2-2,5 часов, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ слСдуСт ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 850Β°Π‘ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 10 ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚.

НизкиС Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹ с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ сопротивлСниСм (Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ, сСрСбро). Π­Ρ‚ΠΎ являСтся ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²Ρ‹Ρ… прСимущСств LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ позволяСт сущСствСнно ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ создания многослойной кСрамичСской структуры ΠΈ ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΡ‚ΡŒ характСристики. ИспользованиС сСрСбра сниТаСт элСктричСскоС сопротивлСниС проводящих слоёв, Π° ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ атмосфСра (Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…) Π΄Π°Ρ‘Ρ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ совмСстно ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡƒΡŽ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΡƒ с высоким коэффициСнтом диэлСктричСской проницаСмости.

ПослС ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° LTCC ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° сохраняСт свою структуру Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ воздСйствии высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€. Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ устройства, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π² ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€. ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° Π²ΠΎ врСмя ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° становится Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, Π΄Π°Ρ‘Ρ‚ усадку Π² Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°Ρ… Π½Π° 9-15% Π² плоскости листов (ось X, Y) ΠΈ Π½Π° 10-30% Π² Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ, пСрпСндикулярном плоскости листов (ось Z). Π­Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ систСм Π½Π° основС LTCC, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ проводящих/рСзистивных паст. ΠŸΠ°ΡΡ‚Ρ‹ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ коэффициСнт усадки, схоТий со значСниями для кСрамичСских листов.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ΠΌΠΈ для производства LTCC ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ, ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ кСрамичСскиС ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΈ, ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠΈ, Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ кСрамичСскиС листы, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ пасты для создания ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ встроСнных пассивных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². ВсС эти ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ LTCC систСмы, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ создан с ΡƒΡ‡Ρ‘Ρ‚ΠΎΠΌ обСспСчСния химичСской ΠΈ физичСской совмСстимости с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ элСмСнтами. Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ LTCC систСмы – слоТный, Π½Π°ΡƒΠΊΠΎΡ‘ΠΌΠΊΠΈΠΉ процСсс, Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ сущСствСнных инвСстиций. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, каТдая LTCC систСма прСдставляСт собой ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΈ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠ³ΠΎ производитСля Π½Π΅ прСдставляСтся Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ.

ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ листы

ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ листы, сформированныС ΠΈΠ· кСрамичСской суспСнзии, ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ для производства ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Π‘Π’Π§ элСктроники. ΠžΡ‚ качСства кСрамичСских листов зависят ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€ΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² тСхнологичСского процСсса производства LTCC устройств. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, характСристики кСрамичСских листов ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ возмоТности устройств, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π½Π° высоких частотах. НизкотСмпСратурная ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° создаётся Π½Π° основС кристаллизированного стСкла ΠΈΠ»ΠΈ смСси стСкла ΠΈ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ (Al

2O3, Si2O3, PbO ΠΈ Ρ‚.Π΄.). Бвойства кСрамичСской Π»Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ°ΠΌΠΈ с Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ элСктричСскими ΠΈ физичСскими свойствами (ΠΏΡŒΠ΅Π·ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΠΊΠΈ, фСрроэлСктрики ΠΈ Ρ‚.Π΄.) Π² зависимости ΠΎΡ‚ Ρ€Π΅ΡˆΠ°Π΅ΠΌΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ. ΠšΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Ρ€Π°Π½ для согласования с алюмооксидной ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ, ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ арсСнидом галлия.

LTCC ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° сохраняСт свои характСристики Π² ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌ спСктрС частот ΠΈ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ для примСнСния Π² высокочастотной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ΅. ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ дСмонстрируСт ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ коэффициСнта диэлСктричСской проницаСмости k ΠΈ диэлСктричСских ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ.

НСкоторыС ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ процСссС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ диэлСктричСской проницаСмости k ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ с высокими значСниями k. Π­Ρ‚ΠΎ Π΄Π°Ρ‘Ρ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠ΅ кондСнсаторы высокой ёмкости, позволяя ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ GaAs Π‘Π’Π§ микросхСм.

НизкотСмпСратурная совмСстно обТигаСмая ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π΅Ρ‚ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π² области тСхнологичСских ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ², Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Π² области физичСских ΠΈ элСктричСских характСристик.

ΠŸΠ°ΡΡ‚Ρ‹

ΠŸΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ, совмСстимыС с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ, ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ваТнСйшСй Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒΡŽ LTCC систСм. ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ создана Π½Π° основС Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π°, сСрСбра ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡ… совмСстного использования (сСрСбряныС пасты для формирования Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Ρ‹Π΅ для повСрхности). ΠŸΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ‰ΠΈΠ΅ пасты Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ наносятся ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΈ ΠΈ Π΄Π°ΡŽΡ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡŽ с высоким Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠŸΡ€ΠΈ совмСстном ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ LTCC ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ усадка ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Они Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ сопоставимы с ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ для ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ. Помимо этого, пасты для ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ химичСски совмСстимы с ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ. ΠšΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ комплСксныС LTCC систСмы, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… кСрамичСскиС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ ΠΈ проводящиС/рСзистивныС пасты ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Ρ€Π°Π½Ρ‹ для получСния ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ совмСстимости.

НизкиС ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ Π‘Π’Π§ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ LTCC систСм. ΠŸΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ исслСдования ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ, связанныС с ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, становятся сравнимыми с потСрями Π² диэлСктриках ΠΏΡ€ΠΈ частотах ΡΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅ 1 Π“Π“Ρ†. Π­Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ устройств ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ систСмы LTCC ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° + проводящиС пасты). ΠŸΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ… ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Ρ‹ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΌ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ сопротивлСниСм, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ органичСской связки Π² пастах, Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈ ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ повСрхности проводящих Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ. ΠŸΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° основС Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высокиС ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ, Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° основС сСрСбра, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ большим ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ элСктричСским сопротивлСниСм (2,3 Ом-см Ρƒ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ² 1,6 Ом-см Ρƒ сСрСбра). ΠžΡ‡Π΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ Π½Π° проводящиС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ Π½Π° основС сСрСбра Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ сниТаСт ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ LTCC систСмы.

Однако ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π°Π΄Ρ‘ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ использованиС ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ микросварки ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ основными критСриями Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π° Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° основС Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹. Π‘ΠΌΠ΅ΡˆΠ°Π½Π½Ρ‹Π΅ систСмы ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Π² сСбС достоинства Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Ρ‹Ρ… ΠΈ сСрСбряных ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². Π’ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… систСмах Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для создания повСрхностных ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Π° сСрСбро – для Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ…. ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ осущСствляСтся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… паст, ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΎΡ‚Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ эффСкта ΠšΠΈΡ€ΠΊΠ΅Π½Π΄Π°Π»Ρ (Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΈ сСрСбра). Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, систСма смСшанной ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π΅Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ устройства с высоким быстродСйствиСм.

Компании ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ LTCC ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΉ спСктр ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для создания рСзисторов ΠΈ кондСнсаторов, встроСнных Π² ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡƒΡŽ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ. РСзистивныС пасты ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ встроСнныС рСзисторы с сопротивлСниСм ΠΎΡ‚ 10 Π΄ΠΎ 10000 Ом/ΠΊΠ²Π°Π΄Ρ€Π°Ρ‚ с допусками Β±10% ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ коэффициСнтом сопротивлСния Β±200Ρ…10-6C-1. ΠŸΠ°Ρ€Π°ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ сСгнСтоэлСктричСскиС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ доступны с диэлСктричСской ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΡ†Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΎΡ‚ 5 Π΄ΠΎ 2000, с минимально Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ нанСсСния 10 ΠΌΠΊΠΌ, Π½ΠΎ Π½Π΅ всСгда удаётся ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡ‚ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² паст ΠΈ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ.

Π Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ рСзистивных ΠΈ диэлСктричСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² продолТаСтся Π² Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ создания рСзисторов с высоким Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ сопротивлСния, с Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высокими допусками ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ коэффициСнта сопротивлСния. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ стрСмятся ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ химичСски совмСстимыС диэлСктрики с высокими значСниями диэлСктричСской постоянной.

ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ Ferro для LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ

Компания Ferro ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»Π° ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΡƒΡŽ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ срСди Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ Π‘Π’Π§ элСктроники благодаря высоким тСхничСским характСристикам, надёТности ΠΈ качСству ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.

НизкотСмпСратурная совмСстно обТигаСмая ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° Ferro Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 20 Π»Π΅Ρ‚ присутствуСт Π½Π° Ρ€Ρ‹Π½ΠΊΠ΅ Π‘Π’Π§ элСктроники. Она Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ примСняСтся Π²Π΅Π΄ΡƒΡ‰ΠΈΠΌΠΈ производитСлями для создания ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Ρ€Π°Π΄Π°Ρ€Π½Ρ‹Ρ… систСм, Π°Π½Ρ‚Π΅Π½Π½, Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΠΌΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΡΠ½Π½Ρ‹Π΅ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΈΠ΅ исслСдования Π² области ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для элСктроники ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Ferro Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ Π»ΠΈΠ΄ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΈ Π½Π° Ρ€Ρ‹Π½ΠΊΠ΅. LTCC систСмы Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π² сСбя ΠΏΠΎΠ»Π½Ρ‹ΠΉ спСктр ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Π‘Ρ€Π΅Π΄ΠΈ Π½ΠΈΡ… кСрамичСский ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎΠΊ, кСрамичСскиС Π»Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΈ листы, пасты для создания Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… ΠΈ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², пасты для ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»- Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий, пасты для создания встроСнных рСзисторов. ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ ΠΈ мСталличСскиС пасты ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Ρ€Π°Π½Ρ‹ с ΡƒΡ‡Ρ‘Ρ‚ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ согласования ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Ferro для LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ прСдставлСны трСмя основными систСмами ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²:

  • БистСма A6-M: основной ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ LTCC ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Ferro. Π—Π°ΠΏΠ°Ρ‚Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ стСклокСрамичСский ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» для высокочастотных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² (Π΄ΠΎ 110 Π“Π“Ρ†) с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ вносимых ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ. Данная LTCC систСма создана для ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ с ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ трСбованиями ΠΊ надёТности. ΠŸΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ кСрамичСской Π»Π΅Π½Ρ‚Ρ‹. ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡ Π½Π° основС Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π°.
  • БистСма A6-S: Π°Π»ΡŒΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π° A6-M для Π‘Π’Π§ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ. A6-S создана Π½Π° основС Π·Π°ΠΏΠ°Ρ‚Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°Π»ΡŒΡ†ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ Π±ΠΎΡ€ΠΎ-силикатного стСкла для Π½Π΅Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΈΡ… Π‘Π’Π§ устройств, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΎΡ‚ 2,45 Π΄ΠΎ 100 Π“Π“Ρ†. LTCC систСма Π½Π° основС смСшанной ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ (Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ + сСрСбро). ΠŸΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ кСрамичСской Π»Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ°.
  • БистСма L8: Π±ΡŽΠ΄ΠΆΠ΅Ρ‚Π½Π°Ρ Π°Π»ΡŒΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π° LTCC систСмС A6. БтСклокСрамичСский ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» для ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»Π΅ΠΉ, корпусов, ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΈ слоТных LTCC ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². Π‘Ρ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ K ΠΈ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ Π΄ΠΎ 30 Π“Π³Ρ†. Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для создания низкочастотных ΠΈ срСднСчастотных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² для Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΠΌΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, Ρ€Π°Π΄Π°Ρ€Π½Ρ‹Ρ… систСм, Π°Π²ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, спутниковой Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Π·Π°Π΄Π°Ρ‡. ΠŸΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ кСрамичСской Π»Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ°. БистСма совмСстима с Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ, сСрСбряной ΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡˆΠ°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ мСталлизациями, ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ созданными для Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ систСмы.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ прСимущСствами мСталличСских паст Ferro, созданных для Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ высокиС характСристики ΠΈ полная тСхнологичСская ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡ‚ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ с кСрамичСскими листами. ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ пасты Ferro ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ высокой Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΊ кСрамичСскому основанию, соотвСтствиСм КВР ΠΈ коэффициСнтов усадки Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌ кСрамичСских листов, Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ сопротивлСниСм ΠΈ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ элСктричСских характСристик. ΠŸΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ Π² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎΡ€Ρ‹ ΠΈ пустоты. ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡ для ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ качСствСнноС соСдинСниС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ ΠΈ Π½Π΅ Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ образования Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½ Π² ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π΅ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ. ΠŸΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚Π½Π°Ρ мСталлизация отличаСтся высоким качСством повСрхности, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт Π² дальнСйшСм, Π² зависимости ΠΎΡ‚ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ, ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΡƒ ΠΈΠ»ΠΈ сварку ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ Π»Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ².

ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ Π² ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ³Π΅: бСссвинцовый ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠΉ

ostec-materials.ru

ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ пСчатная ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° Π½Π΅Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ Π² микроэлСктронной ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ ООО РиП. Π’Π΅Π». 8 800 350 55 34

Β  Β  ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ пСчатная ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° это основной элСмСнт Π² конструкции ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ,ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎ толстоплёночной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ООО  РиП.На кСрамичСской повСрхности ΠΈΠ· оксида ΠΈΠ»ΠΈ Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° алюминия ΡƒΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ пассивныС ΠΈ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ Ρ‡ΠΈΠΏ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ толстоплёночных микросборок.

Β  Β   Аналогично Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ Π½Π° стСклотСкстолитС Π² кСрамичСской ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ формируСтся проводящий рисунок.Вопология выполняСтся ΠΏΠΎ толстоплёночной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΈ,ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ проводящСго рисунка являСтся ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ Π½Π° основС Ag, AgPd.ΠŸΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ‰Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ΅ΠΉ ΠΏΠ°ΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ,ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΊ сваркС ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Π·Π²ΡƒΠΊΠΎΠΌ алюминиСвой ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΈ ΠΊ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌ.

Β  Β  Β ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ основания слуТат кСрамичСскиС ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ с Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0.5..3ΠΌΠΌ ΠΈΠ· оксида алюминия Π’Πš-94, 96%,Π’Πš-100 со ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ.ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π½Π° пластинах ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° алюминия ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ,Ρ‡Ρ‚ΠΎ являСтся ΠΈΡ… Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ прСимущСством.Π’Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий(мСталлизация ΠΏΠΎ стСнкам,сплошноС Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅) Π² ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ… позволяСт ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π» микроэлСктронных ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»Π΅ΠΉ.

Β  Β  Π’Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚Π΅ ΠΊΡƒΠΏΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ Π² ООО РиП,ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΡƒΡŽ ΠΌΡ‹ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΠΌ ΠΏΠΎ Π’Π°ΡˆΠ΅ΠΌΡƒ тСхничСскому заданию.

Β  Β 

rezistiv.ru

«РКБ прСдставил многослойныС кСрамичСскиС ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈ Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ LTCCΒ» Π² Π±Π»ΠΎΠ³Π΅ Β«ΠŸΠ΅Ρ€ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ, ΠΠ˜ΠžΠšΠ Ρ‹, изобрСтСния»

 © russianspacesystems.ru

Π₯ΠΎΠ»Π΄ΠΈΠ½Π³ «РоссийскиС космичСскиС систСмы» (РКБ, Π²Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Π²Β Π“ΠΎΡΠΊΠΎΡ€ΠΏΠΎΡ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ «РОБКОБМОБ») прСдставил пСрспСктивныС многослойныС кСрамичСскиС ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΒ Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΒ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramic), Π½Π°Β ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡƒΠ½Π°Ρ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ авиакосмичСском салонС МАКБ-2019.

На салонС РКБ прСдставил Π²ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ в России ΠΏΠΎΒ LTCC-Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€, управляСмый напряТСниСм ΠΈΒ Π΄Π²Π΅ многослойныС кСрамичСскиС Π‘Π’Π§-ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ для ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠΎ-ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… устройств Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°. Одна ΠΈΠ·Β Π½ΠΈΡ…Β β€” слоТной Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠΈ, Π΅Π΅Β ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€ повторяСт посадочныС мСста Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ нСсущСй конструкции и дСмонстрируСт возмоТности LTCC-производства ΠΠ˜Π˜Β Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² (АО «НИИ ВП», Π²Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Π²Β Ρ…ΠΎΠ»Π΄ΠΈΠ½Π³ РКБ). ОбС ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½Ρ‹ Π²Β Π±Π»ΠΎΠΊΠ°Ρ… пСрспСктивной ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠΎ-ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Π±ΠΎΡ€Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΒ Π½Π°Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ базирования.

ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, общСствСнности Π²ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ продСмонстрирована пСрспСктивная крупногабаритная многослойная кСрамичСская ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° для устройств, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²Β Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ‚Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡ΠΈ сигнала. Π•Π΅Β Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ 150Γ—150Γ—2,4 ΠΌΠΌ. Она ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π° для высокоскоростных устройств ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ°, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡ΠΈ ΠΈΒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ сигнала, Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ Π‘Π’Π§-Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½, вострСбованный в космичСском приборостроСнии ΠΏΡ€ΠΈ создании пСрспСктивных космичСских Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΠ².

Π“Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³Β ΠΠž «НИИ ВП» Π’Π°Π»Π΅Ρ€ΠΈΠΉ Π₯ΠžΠ”Π–ΠΠ•Π’: Β«LTCC-тСхнология ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π΅Ρ‚ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ в создании многослойных ΠΏΠ»Π°Ρ‚ для высокочастотных элСктронных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ², корпусов микросхСм и выступаСт в качСствС Π°Π»ΡŒΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ‚ΠΈΠ²Ρ‹ многослойным ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°ΠΌ из тСкстолита и высокотСмпСратурной ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡŠΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΒ Π½ΠΈΠΌ ряда ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉΒ».

Π˜ΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ΡΡ производствСнныС мощности ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ участка Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ НИИ ВП ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ 200 Π΄ΠΌΒ² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… кСрамичСских ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π²Β Π³ΠΎΠ΄. УспСшная рСализация ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚Π° по созданию Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Ρ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΒ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ и производству ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² на основС LTCC ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ Π²Ρ‹ΠΉΡ‚ΠΈ Π½Π°Β ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΡ‹ производства ΠΈΒ Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΡ…Β Π½Π°Β ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 1 500 Π΄ΠΌΒ² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… кСрамичСских ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π²Β Π³ΠΎΠ΄.

LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramic)Β β€” тСхнология Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ совмСстно ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ позволяСт ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈΒ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ качСствСнно высокиС эксплуатационныС характСристики Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ космичСского назначСния. Π’Β ΠΌΠΈΡ€Π΅ LTCC-тСхнология Π΄Π°Π²Π½ΠΎ Π΄ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»Π° свою Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΡ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ и нашла ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ в создании многослойных ΠΏΠ»Π°Ρ‚ для высокочастотных элСктронных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² и корпусов микросхСм. Компании из БША ΠΈΒ Π•Π²Ρ€ΠΎΠΏΡ‹ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ эту Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡŽ, Π½ΠΎΒ Π½Π΅Β ΠΏΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ многослойныС кСрамичСскиС ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ на основС LTCC-Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ для высокочастотных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² в Россию.

sdelanounas.ru

Π—Π°ΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ LTCC ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ

Π’Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚Π΅ Π·Π°ΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ Ρƒ нашСй ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ кСрамичСских многослойных ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»Π΅ΠΉ Π½Π° основС Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎ-Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ LTCC. ΠŸΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²ΠΎ кСрамичСских ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»Π΅ΠΉ выполняСтся Π½Π° сСртифицированном ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ, спСциалистами, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ ΠΎΠ³Ρ€ΠΎΠΌΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚ΠΎΠΌ Π² ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ LTCC-ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»Π΅ΠΉ.

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ запуском Π² производство наши ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ½ΡΡƒΠ»ΡŒΡ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ вас ΠΏΠΎ нюансам ΠΈ особСнностям вашСго ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚Π°, подскаТут, Ρ‡Ρ‚ΠΎ трСбуСтся ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ максимальноС качСство ΠΈ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ вашСго издСлия, ΠΏΡ€ΠΈ достиТСнии Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… элСктричСских ΠΈ мСханичСских ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ².

Β 

ΠŸΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹Β  производства

Β  Π‘Ρ‚Π°Π½Π΄Π°Ρ€Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ УслоТнСнный
ΠœΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ 120 ΠΌΠΊΠΌ 100 ΠΌΠΊΠΌ
ΠœΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π·Π°Π·ΠΎΡ€ 120 ΠΌΠΊΠΌ 100 ΠΌΠΊΠΌ
Π”ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий Π² слоях 110, 150, 200, 250,
300, 500, 1000 ΠΌΠΊΠΌ
Β 
ΠœΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ стСка соосных отвСрстий 3-4 6
ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ слоСв ΠΎΡ‚ 4 Π΄ΠΎ 16 Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 16
ΠšΠ²Π°Π΄Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия 1 ΠΌΠΌ, 2 ΠΌΠΌ, 5 ΠΌΠΌ Β 
Рабочая ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ 200×200 ΠΌΠΌ Β 
ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Π° Π΄Π°, полная Π΄Π°, Π² Π·ΠΎΠ½Π°Ρ…

Π’ΠΈΠΏΡ‹ примСняСмой ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ:

KEKO SK47

Dupont 951

Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° слоСв: 45, 100, 140, 210 ΠΌΠΊΠΌ.

ДиэлСктричСская ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΡ†Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ – 7.8

ВангСнс ΡƒΠ³Π»Π° ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ – 0.014

Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ – 3 W/mK

Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… отвСрстий – 10 – 25 W/mK

ΠšΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ – 5.8 ppm/K

ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» для создания слоя ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² – сСрСбросодСрТащая паста, Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° слоя 8-10 ΠΌΠΊΠΌ, сопротивлСниС 4 мОм/ΠΊΠ²Π°Π΄Ρ€Π°Ρ‚

Π Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ – Π½Π° 100 ΠΌΠΊΠΌ большС, Ρ‡Π΅ΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ отвСрстия.

Π Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ LTCC ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»Π΅ΠΉ Π²Ρ‹ΡΡ‹Π»Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎ запросу.

www.pcbtech.ru

Π˜Π·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ кСрамичСских ΠΏΠ»Π°Ρ‚.. – Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°

О!

Π’ΠΎΠΆ сильно интСрСсна!Π‘Ρ‚Π°Ρ€ΠΎΠ΄Π°Π²Π½Π° мысла оччнулася…

Допустим,Π½Π°Π΄ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ кСрамичСскиС ΡˆΠ°ΠΉΠ±ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ диямСтром 10-15ΠΌΠΌ,Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 2-4ΠΌΠΌ ΠΈ с ΠΌΠ°Ρ…ΠΎΠ½ΡŒΠΊΠΎΠΉ Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΡ‡ΠΊΠΎΠΉ Π² Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π΅,Π½Ρƒ,ΠΏΡƒΡΡ‚ΡŒ 0.3-0.5ΠΌΠΌ.Или просто ΡˆΠ°ΠΉΠ±Ρƒ с 8ΠΌΠΌ Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΠΉ.ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° Π½ΡƒΠΆΠ½Π° нСпористая(шоб Π²ΠΎΠ΄Π° Π½Π΅ просачивалася) ΠΈ ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π°Ρ.

Как ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΊΠ»Π΅Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ собой кСрамичСскиС пластины?

Β 

Π”Π°Π»Π΅Π΅,ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π° Ρ‚Π°ΠΊΠ΅Π½Π½ΡƒΡŽ пластину Π½Π°Π½Π΅ΡΡ‚ΡŒ ,скаТСм Π·ΠΎΠ»Ρ‘Ρ‚ΠΎ?И Π² Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΡ‡ΠΊΡƒ Ρ‚ΠΎΠΆΠ΅,Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΡŒ Π½Π° стСнки?Какова тСхнология вТигания?И Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎ,ΠΈ толсто? πŸ™

Π΅ΠΆΠ΅Π»ΠΈ это Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ полярографичСский Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊ кислорода, Ρ‚ΠΎ я Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ Π»Π΅Ρ‚ 20 Π½Π°Π·Π°Π΄ Π΄Π΅Π»Π°Π»

Β 

Π° Π²ΠΎΠΎΠ±Ρ‰Π΅ процСсс ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ нСпростой.

ΠΏΠΎΡ‡ΠΈΡ‚Π°Π» ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡƒΠ»ΠΈΠΊΠΎΠΌ Ρ…Π»ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ΅ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎ…

это ΠΆΠ΅ ΠΆ всрацо ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ!!!!

Β 

Ссли Π²ΠΆΠΈΠ³Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎ Π΅ΡΡ‚ΡŒ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ- Π²ΠΆΠΈΠ³Π°Π½ΠΈΠ΅ пасты состава ΠΏΠ°Π»Π»Π°Π΄ΠΈΠΉ-сСрСбро плюс Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΊΠ° свинцового стСкла.

вторая тСхнология- ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½-марганцСвая паста паста, Π²ΠΆΠΈΠ³Π°Π½ΠΈΠ΅ Π² атмосфСрС Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π° ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… ΠΎΠΊ 1600 градусов.

Π΅ΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒΡ, Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚ припоя ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½, с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ спСканиСм ΠΏΡ€ΠΈ 800 градусов Π² Π²Π°ΠΊΠΊΡƒΠΌΠ΅

Π΄Π°Π»Π΅Π΅ покрытия Π½Π°Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈ, золотяттся ΠΏΡ€ΠΈ нСобходимости ΠΈ Ρ‚Π΄. сцСплСниС ΠžΠ§Π•ΠΠ¬ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ΅, ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ Π»ΠΎΠΏΠ°Π΅Ρ†ΠΎ ΠΏΠΎ самой ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ΅ Π° Π½Π΅ ΠΏΠΎ соСдинСнию.

Β 

Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Ρ€Π°Π·ΡƒΠΌΠ΅Π²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ подслоя Ρ…Ρ€ΠΎΠΌΠ°, ванадия, Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° ΠΈ Π²Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ слоСм проводящСй ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ.

Β 

ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π΅Ρ‰Π΅ зимичСски ( эту Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡŽ я сам Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π») химичСскоС осаТдСниС Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Π΅Π²Ρ‹Ρ… слоСв Π½Π° Π²ΠΎΠΆΠΆΠ΅Π½Ρ‹Π΅ слСдовыС количСства палладия.

Β 

Π² ΠΎΠ±Ρ‰Π΅ΠΌ, ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅Π³ΠΎ уровня, многостадийныС ΠΈ слоТныС.

Π² Π³Π°Ρ€Π°ΠΆΠ΅ Π½Π° ΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅ ΠΈ Π±Π΅Π· ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚Π° вряд Π»ΠΈ получится

www.chipmaker.ru

НизкотСмпСратурная совмСстно обТигаСмая ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° (LTCC). ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π°. ВСхнология. ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹.

11 АпрСля 2011

Β 

ВСхнология Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ совмСстно ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ (LTCC) ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… отраслях ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Π½Π° протяТСнии ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… Π»Π΅Ρ‚. Π£ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ LTCC ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², тСхнологичСских процСссов ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² производства ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π»ΠΎ ΠΊ сниТСнию стоимости ΠΈ ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ тСхничСских характСристик элСктронных ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ. Π­Ρ‚ΠΎ сущСствСнно ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ»ΠΎ интСрСс ΠΊ LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ со стороны ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ высокочастотной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ, оптоэлСктроники ΠΈ микроэлСктромСханичСских систСм. НовыС возмоТности ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ для производства элСктронных ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Π² Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… направлСниях ΠΊΠ°ΠΊ Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΠΌΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠ½Π°, Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ, воСнная ΠΈ космичСская Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ°. Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒΠ΅ ΠΌΡ‹ рассмотрим основныС прСимущСства, особСнности ΠΈ свойства ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ для производства многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ являлись органичСскиС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌΠΈ значСниями диэлСктричСской проницаСмости (FR-4, Ξ΅r = 3,5 – 4,5) ΠΈ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° с высокими значСниями диэлСктричСской проницаСмости (Ξ΅r = 10 – 12). Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΡ… частот элСктронных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π»ΠΎ создания Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π±Ρ‹, с ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ стороны, позволял Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ многослойныС ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΈ, с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ стороны, Π½Π° высоких частотах ΠΈΠΌΠ΅Π» Π±Ρ‹ характСристики, схоТиС с ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ. Новый ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ» Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ низкотСмпСратурная совмСстно обТигаСмая ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° (Low Temperature Cofired Ceramic (LTCC)).

ΠœΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Π΅ кСрамичСскиС ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π»ΠΈΡΡŒ ΠΈΠ· оксида алюминия Al2O3 (High Temperature Cofired Ceramic – HTCC-тСхнология). Π”Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» обТигался ΠΏΡ€ΠΈ высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… (Π’ β‰₯15000C), поэтому слои ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ»ΠΈΡΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΈΠ· Ρ‚ΡƒΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΡ… ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ²: Π²ΠΎΠ»ΡŒΡ„Ρ€Π°ΠΌΠ° ΠΈ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½Π°. Π­Ρ‚ΠΎ вносило ряд ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ Π² Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ возмоТности ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ², Π² ΡƒΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ сниТСниС стоимости производства. Π‘Π²ΠΎΡ‘ дальнСйшСС Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ многослойная ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»Π° с Π²Π½Π΅Π΄Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ LTCC, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΡƒ Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡˆΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ со ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ стСклами (рис. 1). Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ снизилась Π΄ΠΎ 8500Π‘, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π»ΠΎ ΠΊ сущСствСнному ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΡŽ производствСнного процСсса. Π’ настоящСС врСмя ΠΊ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ LTCC относят ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΡƒ, ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… Π½ΠΈΠΆΠ΅ 10000C.

Рис. 1 Π‘Ρ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ

НизкиС ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ Π‘Π’Π§ ΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ нСвысокая ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ производства ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ прСимущСствами LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ для Π’Π§ ΠΈ Π‘Π’Π§ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ². По стоимости LTCC тСхнология приблиТаСтся ΠΊ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π½Π° основС FR-4, Π° ΠΏΠΎ своим диэлСктричСским характСристикам низкотСмпСратурная ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° сопоставима с алюмооксидной ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ прСимущСства ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ

Π‘Ρ€Π΅Π΄ΠΈ основных прСимущСств ΠΈ особСнностСй LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅:

  • ΠžΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΈΠ΅ элСктричСскиС характСристики ΠΈ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½. Π’ зависимости ΠΎΡ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² диэлСктричСская ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΡ†Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π²Π°Ρ€ΡŒΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΎΡ‚ 6 Π΄ΠΎ 9, Π° тангСнс ΡƒΠ³Π»Π° диэлСктричСских ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ ΠΎΡ‚ 0,001 Π΄ΠΎ 0,006 Π² Π³ΠΈΠ³Π°Π³Π΅Ρ€Ρ†ΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅. Π’ качСствС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹ с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ сопротивлСниСм (Ag, Au, Pt).
  • ΠŸΡ€Π΅Π²ΠΎΡΡ…ΠΎΠ΄Π½Π°Ρ мСханичСская ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ сохранСниС Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ². Π­Ρ‚ΠΎ прСимущСство Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ коэффициСнта Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ (5-7 ΠΌΠΊΠΌ/ΠΌΠΎΠ‘), Π½ΠΎ ΠΈ ΠΈΠ·-Π·Π° эластичных свойств Π² ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€.
  • Низкий КВР. КВР Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΎΠΊ ΠΊ КВР основных ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² элСктроники (Si, GaAs, InP). Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΌΠΎΠ½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ кристаллы нСпосрСдствСнно Π½Π° основаниС ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹.
  • Π₯ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ°Ρ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ LTCC ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ составляСт 2-4 Π’Ρ‚/мК, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, Ρ‡Π΅ΠΌ Ρƒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π½Π° основС органичСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (0,1-0,5 Π’Ρ‚/мК). Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ LTCC Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½Π° Π·Π° счёт создания Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… стоков с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ (Π΄ΠΎ 20 Π’Ρ‚/мК).
  • Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ 3D ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ. МоТно Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ полости, отвСрстия, ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ, встроСнныС пассивныС ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ (рис. 2).
  • Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ высокотСмпСратурной ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ. ΠŸΠ»ΠΎΡ‚Π½Π°Ρ структура LTCC ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π½Π΅ пропускаСт Π²Π»Π°Π³Ρƒ, поэтому корпуса ΠΈΠ· ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ Π² атмосфСрС с высокой Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π±Π΅Π· Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ LTCC ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ Π² ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ органичСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΡΠΎΡ…Ρ€Π°Π½ΡΡŽΡ‚ свои свойства Π²ΠΎ Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ срСдС (большая Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ органичСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² сильно ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€- ΠΆΠ΅Π½Π° влиянию Π²Π»Π°Π³ΠΈ).
Рис. 2 Многослойная ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° ΠΈΠ· Π½ΠΈΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ совмСстно ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ

Π’ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊ этому тСхнология LTCC Π΄ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»Π° свою Π½Π°Π΄Ρ‘ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΡ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌ спСктрС Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ Π‘Π’Π§ элСктроники. Благодаря всСм Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡ΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ особСнностям, LTCC тСхнология нашла ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² создании многослойных ΠΏΠ»Π°Ρ‚ для высокочастотных элСктронных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ², корпусов микросхСм ΠΈ выступаСт Π² качСствС Π°Π»ΡŒΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ‚ΠΈΠ²Ρ‹ многослойным ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°ΠΌ ΠΈΠ· стСклотСкстолита ΠΈ высокотСмпСратурной ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ.

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ с корпусами Π½Π° основС Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ совмСстно ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΡƒΡΠΏΠ΅ΡˆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π² Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ, ΠΏΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π±ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠΉ элСктроникС, тСлСкоммуникациях, спутниковых систСмах ΠΈ Π² Π²ΠΎΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… издСлиях. ΠœΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½Ρ‹ устройств ΡƒΠΆΠ΅ созданы Π½Π° основС LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π² настоящСС врСмя. Π˜Π·Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ LTCC тСхнология использовалась для крупносСрийного производства Π‘Π’Π§ устройств. Но благодаря своим диэлСктричСским ΠΈ мСханичСским свойствам, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ надёТности ΠΈ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, низкотСмпСратурная ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π° Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΈ для производства Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… сСнсоров, мСханичСских систСм (МЭМБ-устройств) ΠΈ Ρ‚Ρ€Ρ‘Ρ…ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… структур.

ВСхнология производства LTCC.

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ производства ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΈΠ· LTCC ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ (рис. 3) начинаСтся с создания кСрамичСской суспСнзии ΠΏΡƒΡ‚Ρ‘ΠΌ смСшивания кСрамичСского ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ°, органичСских ΡΠ²ΡΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ…, растворитСлСй ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΠΊ. Из суспСнзии впослСдствии формируСтся кСрамичСская Π»Π΅Π½Ρ‚Π°. Π›Π΅Π½Ρ‚Π° нарСзаСтся Π½Π° листы Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² Π² соотвСтствии с ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ производится Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий, Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий проводящСй пастой ΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… проводящих ΠΈ рСзистивных паст. ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ листы ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ, Π»Π°ΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ, Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅Π·Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ элСмСнты ΠΈ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°ΡŽΡ‚ΡΡ.

Рис. 3 ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ производства многослойных ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈΠ· Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, состоит ΠΈΠ· этапа изостатичСского ламинирования ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… 60-70Β°Π‘ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, этапа выТигания ΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… 450-500OΠ‘ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2-2,5 часов, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ слСдуСт ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 850OΠ‘ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 10 ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚ (рис. 4). НизкиС Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹ с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ сопротивлСниСм (Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ, сСрСбро). Π­Ρ‚ΠΎ являСтся ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²Ρ‹Ρ… прСимущСств LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ позволяСт сущСствСнно ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ создания многослойной кСрамичСской структуры ΠΈ ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΡ‚ΡŒ характСристики. ИспользованиС сСрСбра сниТаСт элСктричСскоС сопротивлСниС проводящих слоёв, Π° ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ атмосфСра (Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…) Π΄Π°Ρ‘Ρ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ совмСстно ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡƒΡŽ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΡƒ с высоким коэффициСнтом диэлСктричСской проницаСмости.

ПослС ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° LTCC ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° сохраняСт свою структуру Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ воздСйствии высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€. Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ устройства, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π² ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€.

ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° Π²ΠΎ врСмя ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° становится Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, Π΄Π°Ρ‘Ρ‚ усадку Π² Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°Ρ… Π½Π° 9-15% Π² плоскости листов (ось X, Y) ΠΈ Π½Π° 10-30% Π² Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ, пСрпСндикулярном плоскости листов (ось Z). Π­Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ систСм Π½Π° основС LTCC, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ проводящих/рСзистивных паст. ΠŸΠ°ΡΡ‚Ρ‹ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ коэффициСнт усадки, схоТий со значСниями для кСрамичСских листов.

Рис. 4 Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ„ΠΈΠ»ΡŒ для ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ совмСстно ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ΠΌΠΈ для производства LTCC ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ, ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ кСрамичСскиС ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΈ, ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠΈ, Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ кСрамичСскиС листы, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ пасты для создания ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ встроСнных пассивных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². ВсС эти ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ LTCC систСмы, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ создан с ΡƒΡ‡Ρ‘Ρ‚ΠΎΠΌ обСспСчСния химичСской ΠΈ физичСской совмСстимости с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ элСмСнтами. Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ LTCC систСмы – слоТный, Π½Π°ΡƒΠΊΠΎΡ‘ΠΌΠΊΠΈΠΉ процСсс, Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ сущСствСнных инвСстиций. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, каТдая LTCC систСма прСдставляСт собой ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΈ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠ³ΠΎ производитСля Π½Π΅ прСдставляСтся Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ.

ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ листы

ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ листы (рис. 5), сформированныС ΠΈΠ· кСрамичСской суспСнзии, ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ для производства ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Π‘Π’Π§ элСктроники. ΠžΡ‚ качСства кСрамичСских листов зависят ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€ΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² тСхнологичСского процСсса производства LTCC устройств. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, характСристики кСрамичСских листов ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ возмоТности устройств, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π½Π° высоких частотах.

Рис. 5 ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ листы

НизкотСмпСратурная ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° создаётся Π½Π° основС кристаллизированного стСкла ΠΈΠ»ΠΈ смСси стСкла ΠΈ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ (Al2O3, Si2O3, PbO ΠΈ Ρ‚.Π΄.). Бвойства кСрамичСской Π»Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ°ΠΌΠΈ с Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ элСктричСскими ΠΈ физичСскими свойствами (ΠΏΡŒΠ΅Π·ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΠΊΠΈ, фСрроэлСктрики ΠΈ Ρ‚.Π΄.) Π² зависимости ΠΎΡ‚ Ρ€Π΅ΡˆΠ°Π΅ΠΌΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ. ΠšΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Ρ€Π°Π½ для согласования с алюмооксидной ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ, ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ арсСнидом галлия.

LTCC ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° сохраняСт свои характСристики Π² ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌ спСктрС частот ΠΈ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ для примСнСния Π² высокочастотной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ΅ (рис. 6). ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ дСмонстрируСт ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ коэффициСнта диэлСктричСской проницаСмости k ΠΈ диэлСктричСских ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ. НСкоторыС ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ процСссС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ диэлСктричСской проницаСмости k ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ с высокими значСниями k. Π­Ρ‚ΠΎ Π΄Π°Ρ‘Ρ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠ΅ кондСнсаторы высокой ёмкости, позволяя ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ GaAs Π‘Π’Π§ микросхСм.

НизкотСмпСратурная совмСстно обТигаСмая ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π΅Ρ‚ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Ρ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π² области тСхнологичСских ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ², Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Π² области физичСских ΠΈ элСктричСских характСристик.

Рис. 6 Π₯арактСристики Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π½Π° высоких частотах (Ferro А6-S)

ΠŸΠ°ΡΡ‚Ρ‹

ΠŸΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ, совмСстимыС с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ, ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ваТнСйшСй Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒΡŽ LTCC систСм. ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ создана Π½Π° основС Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π°, сСрСбра ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡ… совмСстного использования (сСрСбряныС пасты для формирования Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Ρ‹Π΅ для повСрхности). ΠŸΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ‰ΠΈΠ΅ пасты Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ наносятся ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΈ ΠΈ Π΄Π°ΡŽΡ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡŽ с высоким Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠŸΡ€ΠΈ совмСстном ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ LTCC ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ усадка ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Они Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ сопоставимы с ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ для ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ. Помимо этого, пасты для ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ химичСски совмСстимы с ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ. ΠšΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ комплСксныС LTCC систСмы, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… кСрамичСскиС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ ΠΈ проводящиС/рСзистивныС пасты ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Ρ€Π°Π½Ρ‹ для получСния ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ совмСстимости.

НизкиС ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ Π‘Π’Π§ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ LTCC систСм. ΠŸΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ исслСдования ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ, связанныС с ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, становятся сравнимыми с потСрями Π² диэлСктриках ΠΏΡ€ΠΈ частотах ΡΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅ 1 Π“Π“Ρ†. Π­Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ устройств ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ систСмы LTCC ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° + проводящиС пасты). ΠŸΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ… ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Ρ‹ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΌ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ сопротивлСниСм, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ органичСской связки Π² пастах, Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈ ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ повСрхности проводящих Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ. ΠŸΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° основС Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высокиС ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ, Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎ Π΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° основС сСрСбра, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ большим ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ элСктричСским сопротивлСниСм (2,3 Ом-см Ρƒ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ² 1,6 Ом-см Ρƒ сСрСбра). ΠžΡ‡Π΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ Π½Π° проводящиС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ Π½Π° основС сСрСбра Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ сниТаСт ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ LTCC систСмы. Однако ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π°Π΄Ρ‘ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ использованиС ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ микросварки ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ основными критСриями Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π° Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° основС Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹. Π‘ΠΌΠ΅ΡˆΠ°Π½Π½Ρ‹Π΅ систСмы ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Π² сСбС достоинства Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Ρ‹Ρ… ΠΈ сСрСбряных ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². Π’ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… систСмах Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для создания повСрхностных ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Π° сСрСбро – для Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ…. ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ осущСствляСтся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… паст, ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΎΡ‚Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ эффСкта ΠšΠΈΡ€ΠΊΠ΅Π½Π΄Π°Π»Ρ (Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΈ сСрСбра). Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, систСма смСшанной ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π΅Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ устройства с высоким быстродСйствиСм.

Компании ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ LTCC ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΉ спСктр ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для создания рСзисторов ΠΈ кондСнсаторов, встроСнных Π² ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡƒΡŽ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ. РСзистивныС пасты ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ встроСнныС рСзисторы с сопротивлСниСм ΠΎΡ‚ 10 Π΄ΠΎ 10000 Ом/ΠΊΠ²Π°Π΄Ρ€Π°Ρ‚ с допусками Β±10% ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ коэффициСнтом сопротивлСния Β±200Ρ…106 C1. ΠŸΠ°Ρ€Π°ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ сСгнСтоэлСктричСскиС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ доступны с диэлСктричСской ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΡ†Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΎΡ‚ 5 Π΄ΠΎ 2000, с минимально Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ нанСсСния 10 ΠΌΠΊΠΌ, Π½ΠΎ Π½Π΅ всСгда удаётся ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡ‚ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² паст ΠΈ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ. Π Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ рСзистивных ΠΈ диэлСктричСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² продолТаСтся Π² Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ создания рСзисторов с высоким Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ сопротивлСния, с Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высокими допусками ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ коэффициСнта сопротивлСния. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ стрСмятся ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ химичСски совмСстимыС диэлСктрики с высокими значСниями диэлСктричСской постоянной.

ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ Ferro для LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ

Компания Ferro ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»Π° ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΡƒΡŽ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ срСди Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ Π‘Π’Π§ элСктроники благодаря высоким тСхничСским характСристикам, надёТности ΠΈ качСству ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.

НизкотСмпСратурная совмСстно обТигаСмая ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° Ferro Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 20 Π»Π΅Ρ‚ присутствуСт Π½Π° Ρ€Ρ‹Π½ΠΊΠ΅ Π‘Π’Π§ элСктроники. Она Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ примСняСтся Π²Π΅Π΄ΡƒΡ‰ΠΈΠΌΠΈ производитСлями для создания ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Ρ€Π°Π΄Π°Ρ€Π½Ρ‹Ρ… систСм, Π°Π½Ρ‚Π΅Π½Π½, Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΠΌΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΡΠ½Π½Ρ‹Π΅ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΈΠ΅ исслСдования Π² области ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для элСктроники ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Ferro Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ Π»ΠΈΠ΄ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΈ Π½Π° Ρ€Ρ‹Π½ΠΊΠ΅.

LTCC систСмы Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π² сСбя ΠΏΠΎΠ»Π½Ρ‹ΠΉ спСктр ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Π‘Ρ€Π΅Π΄ΠΈ Π½ΠΈΡ… кСрамичСский ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎΠΊ, кСрамичСскиС Π»Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΈ листы, пасты для создания Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… ΠΈ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², пасты для ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий, пасты для создания встроСнных рСзисторов. ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ ΠΈ мСталличСскиС пасты ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Ρ€Π°Π½Ρ‹ с ΡƒΡ‡Ρ‘Ρ‚ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ согласования ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Ferro для LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ прСдставлСны трСмя основными систСмами ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²:

БистСма A6-M

Основной ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ LTCC ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Ferro. Π—Π°ΠΏΠ°Ρ‚Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ стСклокСрамичСский ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» для высокочастотных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² (Π΄ΠΎ 110 Π“Π“Ρ†) с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ вносимых ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ. Данная LTCC систСма создана для ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ с ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ трСбованиями ΠΊ надёТности. ΠŸΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ кСрамичСской Π»Π΅Π½Ρ‚Ρ‹. ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡ Π½Π° основС Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π°.

БистСма A6-S

ΠΠ»ΡŒΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π° A6-M для Π‘Π’Π§ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ. A6-S создана Π½Π° основС Π·Π°ΠΏΠ°Ρ‚Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°Π»ΡŒΡ†ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ Π±ΠΎΡ€ΠΎ-силикатного стСкла для Π½Π΅Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΈΡ… Π‘Π’Π§ устройств, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΎΡ‚ 2,45 Π΄ΠΎ 100 Π“Π“Ρ†. LTCC систСма Π½Π° основС смСшанной ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ (Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ + сСрСбро). ΠŸΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ кСрамичСской Π»Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ°.

БистСма L8

Π‘ΡŽΠ΄ΠΆΠ΅Ρ‚Π½Π°Ρ Π°Π»ΡŒΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π° LTCC систСмС A6. БтСклокСрамичСский ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» для ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»Π΅ΠΉ, корпусов, ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΈ слоТных LTCC ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². Π‘Ρ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ K ΠΈ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ Π΄ΠΎ 30 Π“Π³Ρ† (рис. 7, 8). Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для создания низкочастотных ΠΈ срСднСчастотных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² для Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΠΌΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, Ρ€Π°Π΄Π°Ρ€Π½Ρ‹Ρ… систСм, Π°Π²ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, спутниковой Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Π·Π°Π΄Π°Ρ‡. ΠŸΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ кСрамичСской Π»Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ°. БистСма совмСсти ΠΌΠ° с Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ, сСрСбряной ΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡˆΠ°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ мСталлизациями, ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ созданными для Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ систСмы.

Рис. 7 Π—Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ дилСктричСской проницаСмости ΠΎΡ‚ частоты (ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° Ferro L8) Рис. 8 Π—Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ тангСнса ΡƒΠ³Π»Π° диэлСктричСских ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ ΠΎΡ‚ частоты (ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° Ferro L8)

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ прСимущСствами мСталличСских паст Ferro, созданных для Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ высокиС характСристики ΠΈ полная тСхнологичСская ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡ‚ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ с кСрамичСскими листами. ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ пасты Ferro ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ высокой Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΊ кСрамичСскому основанию, соотвСтствиСм КВР ΠΈ коэффициСнтов усадки Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌ кСрамичСских листов, Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ сопротивлСниСм ΠΈ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ элСктричСских характСристик. ΠŸΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ Π² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎΡ€Ρ‹ ΠΈ пустоты. ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡ для ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ качСствСнноС соСдинСниС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ ΠΈ Π½Π΅ Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ образования Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½ Π² ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π΅ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ. ΠŸΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚Π½Π°Ρ мСталлизация отличаСтся высоким качСство повСрхности, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт Π² дальнСйшСм, Π² зависимости ΠΎΡ‚ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ, ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΡƒ ΠΈΠ»ΠΈ сварку ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ Π»Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ².

Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅

LTCC тСхнология ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»Π° ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ благодаря ряду ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… особСнностСй. Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ создания 3D структур, встроСнных пассивных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ², созданиС высокопроводящих соСдинСний, высокая мСханичСская ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡŽ LTCC ΠΊΠ°ΠΊ Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΡƒΡŽ для создания слоТных элСктронных систСм, Π³Π΄Π΅ трСбуСтся высокая ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π½Π°Π΄Ρ‘ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ направлСния развития LTCC Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π² сСбя ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ тСхнологичСского процСсса производства. Π£ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ LTCC ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π²Π΅Π΄Ρ‘Ρ‚ ΠΊ ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ ΠΈΡ… элСктричСских характСристик, простотС Π² использовании ΠΈ ΡΠΎΡ…Ρ€Π°Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ совмСстимости с основными тСхнологиями сборки ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² (высокотСмпСратурная ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ°, проволочная микросварка ΠΈ Ρ‚.Π΄). ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, составы ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² постоянно ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ для ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ пассивных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈ для создания ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ оптоэлСктроники. Π‘ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ зрСния тСхнологичСского процСсса усилия ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΉ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½Ρ‹ Π½Π° ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ контроля усадки ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² листов, ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ топологичСских Π½ΠΎΡ€ΠΌ ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ использованиС Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

Автор, Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ:
Π ΠΎΠΌΠ°Π½ ΠšΠΎΠ½Π΄Ρ€Π°Ρ‚ΡŽΠΊ, Π²Π΅Π΄ΡƒΡ‰ΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€
ΠžΡ‚Π΄Π΅Π»:
НаправлСниС тСхнологичСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²
Email:
[email protected]
ИзданиС:
Π˜Π½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ Π±ΡŽΠ»Π»Π΅Ρ‚Π΅Π½ΡŒ Β«Π‘Ρ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈΒ», Π°ΠΏΡ€Π΅Π»ΡŒ 2011, β„–5

ostec-materials.ru

Π£Π½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ кСрамичСскиС ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ производят Π² НИИ ВП

Π‘ΠΎΠ²Π΅Ρ‚ Ρ€ΡƒΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ структуры прСдприятий космичСского приборостроСния ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΠ» АО «НИИ ВП» Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Ρ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠΉ ΠΏΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΈ производству ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² Π½Π° основС Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ совмСстно ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ (Low Temperature Co-fired Ceramic – LTCC).

ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, созданныС ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΠΈ LTCC-Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ коэффициСнтом Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΠΊ основным ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌ элСктроники. Они Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΈΠΌΠΈ элСктричСскими характСристиками ΠΈ Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ.

Π’ НИИ ВП созданиС участка Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅ΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒΡŽ 300 ΠΊΠ². ΠΌ Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΠΎΡΡŒ Π² ΠΌΠ°Π΅ 2012 Π³ΠΎΠ΄Π°. БСгодня это высокотСхнологичноС производство, ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π΅ 8 классу чистоты ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΉ.

Π’ России Π½Π΅ готовят спСциалистов ΠΏΠΎ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ΅, поэтому поиск ΠΊΠ²Π°Π»ΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… сотрудников Π±Ρ‹Π» нСпростой Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π΅ΠΉ.

Β«ΠœΡ‹ ΠΏΠΎΠ΄Π±ΠΈΡ€Π°Π»ΠΈ профСссионалов, Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ, Π°Π΄Π°ΠΏΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΈ ΠΎΡΠ²Π°ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΏΡ€ΠΈΠ³Π»Π°ΡˆΠ°Π»ΠΈ ΠΈΡ… ΠΈΠ· смСТных отраслСй – рассказываСт Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ НИИ ВП Π’Π°Π»Π΅Ρ€ΠΈΠΉ Π₯ΠΎΠ΄ΠΆΠ°Π΅Π². – БСгодня ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ² участка насчитываСт 7 высококвалифицированных ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€ΠΎΠ²-Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΎΠ²Β».

ΠžΠ±ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ сотрудников участка происходило Π² Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ выполнСния ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… Π·Π°ΠΊΠ°Π·ΠΎΠ². Π’Π»Π°Π΄ΠΈΠΌΠΈΡ€ ΠŸΠΎΠ³ΠΎΡ€Π΅Π»ΡŒΡΠΊΠΈΠΉ, Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½ΠΈΠΊ сСктора НВК-5 НИИ ВП считаСт, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Β«ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ обучСния сотрудники сразу Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, ΠΎΡΠ²Π°ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡŽ ΠΈ ΠΎΠ²Π»Π°Π΄Π΅Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌΒ».

БСйчас Π² НИИ ВП ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΡ‚Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° тСхнологичСских процСссов Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ участка. На Π΅Π³ΠΎ Π±Π°Π·Π΅ планируСтся ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ спСциализированный Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ ΠΏΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΈ производству ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»Π΅ΠΉ Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ Π‘Π’Π§-Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π° основС LTCC-Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ для прСдприятий всСй ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ структуры РКБ.

ΠŸΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ мощности НИИ ВП ΡƒΠΆΠ΅ сСгодня ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ 200 ΠΊΠ². Π΄ΠΌ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… кСрамичСских ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π² Π³ΠΎΠ΄.

По ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ, Π² блиТайшиС Π³ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΡ‹ производства Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ вырасти Π² нСсколько Ρ€Π°Π·.

Β«ΠœΡ‹ постоянно ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅ΠΌ ΠΊΡƒΠ»ΡŒΡ‚ΡƒΡ€Ρƒ производства, Π½Π°Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡƒΡ€Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ, – ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π΄ΠΈΡ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ АО «НИИ ВП» Анатолий Шишанов. – ДостиТСния ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Π² области создания систСм Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… систСм управлСния космичСскими Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, Π° Π² послСднСС врСмя – Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π² области LTCC-Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π» российского космичСского приборостроСния».

russianspacesystems.ru

Π”ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ€ΠΈΠΉ

Π’Π°Ρˆ адрСс email Π½Π΅ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΠΏΡƒΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π½. ΠžΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ поля ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ *