LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ ΡΠ²Π»ΡΠ»ΠΈΡΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌΠΈ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΠΈ (FR-4, Ξ΅r = 3,5 – 4,5) ΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΠΈ (Ξ΅r = 10 – 12). Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π»ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π±Ρ, Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ» Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ, ΠΈ, Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, Π½Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΈΠΌΠ΅Π» Π±Ρ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ, ΡΡ ΠΎΠΆΠΈΠ΅ Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ. ΠΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ» Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠ°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° (Low Temperature Cofired Ceramic (LTCC)).
ΠΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΈΠ· ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ Al2O3 (High Temperature Cofired Ceramic – HTCC-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ). ΠΠ°Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π»ΡΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ (Π’ β₯1500Β°C), ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ»ΠΈΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΈΠ· ΡΡΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ²: Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ° ΠΈ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½Π°. ΠΡΠΎ Π²Π½ΠΎΡΠΈΠ»ΠΎ ΡΡΠ΄ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ², Π² ΡΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°.
Π‘Π²ΠΎΡ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅Π΅ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Π°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»Π° Ρ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ LTCC, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΡ Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠΎ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π°ΠΌΠΈ . Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΠ»Π°ΡΡ Π΄ΠΎ 850Β°Π‘, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π»ΠΎ ΠΊ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡ ΡΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°. Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ LTCC ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΡ, ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π½ΠΈΠΆΠ΅ 1000Β°C.
ΠΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ Π‘ΠΠ§ ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½Π΅Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΠ§ ΠΈ Π‘ΠΠ§ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ². ΠΠΎ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ FR-4, Π° ΠΏΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΈΠΌ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΠΌΠ° Ρ Π°Π»ΡΠΌΠΎΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ.
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ
Π‘ΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ² ΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅:
- ΠΡΠ΅Π½Ρ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄ΠΎ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ²ΡΡ Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½. Π Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π²Π°ΡΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡ 6 Π΄ΠΎ 9, Π° ΡΠ°Π½Π³Π΅Π½Ρ ΡΠ³Π»Π° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΎΡ 0,001 Π΄ΠΎ 0,006 Π² Π³ΠΈΠ³Π°Π³Π΅ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅. Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ (Ag, Au, Pt).
- ΠΡΠ΅Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄Π½Π°Ρ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ². ΠΡΠΎ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ (5-7 ΠΌΠΊΠΌ/ΠΌΠ‘), Π½ΠΎ ΠΈ ΠΈΠ·-Π·Π° ΡΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ.
- ΠΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ ΠΠ’Π . ΠΠ’Π Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΎΠΊ ΠΊ ΠΠ’Π ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ (Si, GaAs, InP). ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΌΠΎΠ½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ.
- Π₯ΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ. Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ LTCC ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 2-4 ΠΡ/ΠΌΠ, ΡΡΠΎ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ Π²ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (0,1-0,5 ΠΡ/ΠΌΠ). Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ LTCC ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½Π° Π·Π° ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ² Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ (Π΄ΠΎ 20 ΠΡ/ΠΌΠ).
- ΠΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ 3D ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡΠΈ, ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΡ, ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ, Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΡ.
- ΠΠ΅ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ. ΠΠ»ΠΎΡΠ½Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° LTCC ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅Ρ Π²Π»Π°Π³Ρ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠ° ΠΈΠ· ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ Π² Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠ΅ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π±Π΅Π· Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΡΠΈΡΡ. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ LTCC ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π² ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π²ΠΎ Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Π΅ (Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠΆΠ΅Π½Π° Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ Π²Π»Π°Π³ΠΈ).
Π Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊ ΡΡΠΎΠΌΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ LTCC Π΄ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»Π° ΡΠ²ΠΎΡ Π½Π°Π΄ΡΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ Π·Π°Π΄Π°Ρ Π‘ΠΠ§ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡΠΌ, LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π½Π°ΡΠ»Π° ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠΎΠ² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ ΠΈ Π²ΡΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π°Π»ΡΡΠ΅ΡΠ½Π°ΡΠΈΠ²Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΠ°ΠΌ ΠΈΠ· ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ° ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ.
ΠΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΡ Ρ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠ°ΠΌΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π² Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ, ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΠΈΡΠ΅Π»ΡΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅, ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΠΌΡΠ½ΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΡΡ , ΡΠΏΡΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ ΠΈ Π² Π²ΠΎΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ . ΠΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² ΡΠΆΠ΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΡΡΡ Π² Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ.
ΠΠ·Π½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»Π°ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π‘ΠΠ§ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ². ΠΠΎ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΈΠΌ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π°Π΄ΡΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° Π½Π°ΡΠ°Π»Π° Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ (ΠΠΠΠ‘-ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²) ΠΈ ΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ.
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° LTCC
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΈΠ· LTCC ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΠΏΠ΅Π½Π·ΠΈΠΈ ΠΏΡΡΡΠΌ ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ°, ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΡΠ·ΡΡΡΠΈΡ , ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΡΡΡΠΈΡ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΠΊ. ΠΠ· ΡΡΡΠΏΠ΅Π½Π·ΠΈΠΈ Π²ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π»Π΅Π½ΡΠ°. ΠΠ΅Π½ΡΠ° Π½Π°ΡΠ΅Π·Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π° Π»ΠΈΡΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² Π² ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ, Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠ°ΡΡΠΎΠΉ ΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΏΠ°ΡΡ. ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΡΡΡ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ, Π»Π°ΠΌΠΈΠ½ΠΈΡΡΡΡΡΡ, ΡΠ°Π·ΡΠ΅Π·Π°ΡΡΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΈ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°ΡΡΡΡ. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΡΠ°ΠΏΠ° ΠΈΠ·ΠΎΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°ΠΌΠΈΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ 60-70Β°Π‘ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΡΡΠ°ΠΏΠ° Π²ΡΠΆΠΈΠ³Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ 450-500Β°Π‘ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 2-2,5 ΡΠ°ΡΠΎΠ², Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 850Β°Π‘ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 10 ΠΌΠΈΠ½ΡΡ.
ΠΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ (Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ, ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠΎ). ΠΡΠΎ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ² LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ»ΡΡΡΠΈΡΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ° ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡΠ², Π° ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠ° (Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ ) Π΄Π°ΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΡ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΠΈ.
ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° LTCC ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΠ΅Ρ ΡΠ²ΠΎΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ. ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, Π΄Π°ΡΡ ΡΡΠ°Π΄ΠΊΡ Π² ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°Ρ Π½Π° 9-15% Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΠΈ Π»ΠΈΡΡΠΎΠ² (ΠΎΡΡ X, Y) ΠΈ Π½Π° 10-30% Π² Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ, ΠΏΠ΅ΡΠΏΠ΅Π½Π΄ΠΈΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΠΈ Π»ΠΈΡΡΠΎΠ² (ΠΎΡΡ Z). ΠΡΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ LTCC, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ /ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΏΠ°ΡΡ. ΠΠ°ΡΡΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΡΠ°Π΄ΠΊΠΈ, ΡΡ ΠΎΠΆΠΈΠΉ ΡΠΎ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π»ΠΈΡΡΠΎΠ².
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° LTCC ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ, ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΈ, ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠΈ, Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΡΡΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ². ΠΡΠ΅ ΡΡΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΡΡΡ Π² ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΌ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ. Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ β ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠΉ, Π½Π°ΡΠΊΠΎΡΠΌΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ, ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΈΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΡΠΈΠΉ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Π°Ρ LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΈ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Ρ Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΠΌ.
ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΡΡΡ
ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΡΡΡ, ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ· ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΠΏΠ΅Π½Π·ΠΈΠΈ, ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Π‘ΠΠ§ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. ΠΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π»ΠΈΡΡΠΎΠ² Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΠΎΡΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° LTCC ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ². ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π»ΠΈΡΡΠΎΠ² ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ², ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π½Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ°Ρ . ΠΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ (Al 2O3, Si2O3, PbO ΠΈ Ρ.Π΄.). Π‘Π²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π»Π΅Π½ΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Ρ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ°ΠΌΠΈ Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ (ΠΏΡΠ΅Π·ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΈ, ΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Ρ.Π΄.) Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ. ΠΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±ΡΠ°Π½ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Ρ Π°Π»ΡΠΌΠΎΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ΠΎΠΌ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ.
LTCC ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΠ΅Ρ ΡΠ²ΠΎΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΎΡ ΠΈ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π² Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ΅. ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΠΈ k ΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ.
ΠΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠ°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π΅Ρ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ², ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ.
ΠΠ°ΡΡΡ
ΠΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ, ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΡΠ΅ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ, ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΡΡ LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°, ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ (ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ). ΠΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΡΠ°ΡΠ°ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈ ΠΈ Π΄Π°ΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΡΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ LTCC ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΡΠ°Π΄ΠΊΠ° ΠΈ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΠ½ΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΠΌΡ Ρ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ. ΠΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΠ°ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π±ΡΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΡ Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ. ΠΡΡΠΏΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΠΏΡΠ΅Π΄Π»Π°Π³Π°ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½ΡΠ΅ LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅/ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±ΡΠ°Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ.
ΠΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ Π‘ΠΠ§ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡΡ LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ. ΠΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠ΅ Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠΌΡΠΌΠΈ Ρ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡΠΌΠΈ Π² Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ²ΡΡΠ΅ 1 ΠΠΡ. ΠΡΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ LTCC ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° + ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ). ΠΠΎΡΠ΅ΡΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Ρ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΠΌ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄ΠΎΠΉ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ²ΡΠ·ΠΊΠΈ Π² ΠΏΠ°ΡΡΠ°Ρ , Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈ ΡΠ΅ΡΠΎΡ ΠΎΠ²Π°ΡΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ Π΄ΠΎΡΠΎΠΆΠ΅ΠΊ. ΠΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ, ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ°, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ (2,3 ΠΠΌ-ΡΠΌ Ρ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ² 1,6 ΠΠΌ-ΡΠΌ Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ°). ΠΡΠ΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ Π½Π° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ° Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ.
ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π°Π΄ΡΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ²Π°ΡΠΊΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΈΡΠΌΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ° ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Ρ. Π‘ΠΌΠ΅ΡΠ°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠ΅Π±Π΅ Π΄ΠΎΡΡΠΎΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². Π ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Π° ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠΎ β Π΄Π»Ρ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΡ . ΠΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π΄Π²ΡΠΌΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ°ΡΡ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ° ΠΠΈΡΠΊΠ΅Π½Π΄Π°Π»Ρ (Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ°). Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΈΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ.
ΠΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ LTCC ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΡΠ΅Π΄Π»Π°Π³Π°ΡΡ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠ², Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΡ Π² ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡ. Π Π΅Π·ΠΈΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ Ρ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΡ 10 Π΄ΠΎ 10000 ΠΠΌ/ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°Ρ Ρ Π΄ΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ Β±10% ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Β±200Ρ 10-6C-1. ΠΠ°ΡΠ°ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠ΅Π³Π½Π΅ΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½Ρ Ρ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡΡ ΠΎΡ 5 Π΄ΠΎ 2000, Ρ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ 10 ΠΌΠΊΠΌ, Π½ΠΎ Π½Π΅ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΡΠ΄Π°ΡΡΡΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΠ°ΡΡ ΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ.
Π Π°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ Π² Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ Π΄ΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΡΡΠ΅ΠΌΡΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΡΠ΅ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΈ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠΉ.
ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Ferro Π΄Π»Ρ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ
ΠΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ Ferro ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»Π° ΡΠΈΡΠΎΠΊΡΡ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΡΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π‘ΠΠ§ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌ, Π½Π°Π΄ΡΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.
ΠΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠ°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° Ferro Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 20 Π»Π΅Ρ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π½Π° ΡΡΠ½ΠΊΠ΅ Π‘ΠΠ§ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. ΠΠ½Π° Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π²Π΅Π΄ΡΡΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ°Π΄Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ, Π°Π½ΡΠ΅Π½Π½, ΡΠΈΠ»ΡΡΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΠΌΡΠ½ΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ. ΠΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΡΠ΅ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Ferro Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ Π»ΠΈΠ΄ΠΈΡΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΈ Π½Π° ΡΡΠ½ΠΊΠ΅. LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠ΅Π±Ρ ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Π‘ΡΠ΅Π΄ΠΈ Π½ΠΈΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊ, ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π»Π΅Π½ΡΡ ΠΈ Π»ΠΈΡΡΡ, ΠΏΠ°ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΡ ΠΈ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΏΠ°ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»- Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ, ΠΏΠ°ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ². ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±ΡΠ°Π½Ρ Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ferro Π΄Π»Ρ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ ΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²:
- Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° A6-M: ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ LTCC ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Ferro. ΠΠ°ΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² (Π΄ΠΎ 110 ΠΠΡ) Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²Π½ΠΎΡΠΈΠΌΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ. ΠΠ°Π½Π½Π°Ρ LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π° Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΊ Π½Π°Π΄ΡΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π»Π΅Π½ΡΡ. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°.
- Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° A6-S: Π°Π»ΡΡΠ΅ΡΠ½Π°ΡΠΈΠ²Π° A6-M Π΄Π»Ρ Π‘ΠΠ§ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ. A6-S ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π·Π°ΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°Π»ΡΡΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ Π±ΠΎΡΠΎ-ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° Π΄Π»Ρ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΈΡ Π‘ΠΠ§ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ², ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΎΡ 2,45 Π΄ΠΎ 100 ΠΠΡ. LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ (Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ + ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠΎ). ΠΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π»Π΅Π½ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ°.
- Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° L8: Π±ΡΠ΄ΠΆΠ΅ΡΠ½Π°Ρ Π°Π»ΡΡΠ΅ΡΠ½Π°ΡΠΈΠ²Π° LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ A6. Π‘ΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π΄Π»Ρ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»Π΅ΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ LTCC ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ². Π‘ΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ K ΠΈ ΠΌΠ°Π»ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ Π΄ΠΎ 30 ΠΠ³Ρ. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΈ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΠΌΡΠ½ΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ, ΡΠ°Π΄Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ, Π°Π²ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, ΡΠΏΡΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°Ρ. ΠΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π»Π΅Π½ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ°. Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠ° Ρ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ, ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡΠΌΠΈ, ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ.
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΡ Ferro, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π½ΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½Π°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ Π»ΠΈΡΡΠ°ΠΌΠΈ. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ Ferro ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΊ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΠ’Π ΠΈ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΡΠ°Π΄ΠΊΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π»ΠΈΡΡΠΎΠ², Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ. ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π½Π΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΡΡ ΠΏΠΎΡΡ ΠΈ ΠΏΡΡΡΠΎΡΡ. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ ΠΈ Π½Π΅ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½ Π² ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ. ΠΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½Π°Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π² Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅ΠΌ, Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ, ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ²Π°ΡΠΊΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π»Π΅Π½ΡΠΎΡΠ½ΡΡ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠ².
ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π² ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΎΠ³Π΅: Π±Π΅ΡΡΠ²ΠΈΠ½ΡΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΏΡΠΈΠΏΠΎΠΉ
ostec-materials.ru
ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΠ° Π½Π΅Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ ΠΠΠ Π ΠΈΠ. Π’Π΅Π». 8 800 350 55 34
Β Β ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΠ° ΡΡΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ ,ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΏΠ»ΡΠ½ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΠΠΒ Π ΠΈΠ.ΠΠ° ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ· ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΈΠ»ΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ ΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠΏ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΏΠ»ΡΠ½ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ±ΠΎΡΠΎΠΊ.
Β Β Β ΠΠ½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΠΎ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΠ΅ Π½Π° ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ Π² ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠΉ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ.Π’ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΏΠ»ΡΠ½ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΡΠ°ΡΠ°ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈ,ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Ag, AgPd.ΠΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠ°ΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡΡΡ,ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΊ ΡΠ²Π°ΡΠΊΠ΅ ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π·Π²ΡΠΊΠΎΠΌ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΈ ΠΊ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΊΠ°ΠΌ.
Β Β Β ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΡΠΆΠ°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0.5..3ΠΌΠΌ ΠΈΠ· ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ ΠΠ-94, 96%,ΠΠ-100 ΡΠΎ ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡΡ.ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ Π½Π° ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°Ρ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ,ΡΡΠΎ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ.ΠΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ(ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΏΠΎ ΡΡΠ΅Π½ΠΊΠ°ΠΌ,ΡΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅) Π² ΠΏΠ»Π°ΡΠ°Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π» ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»Π΅ΠΉ.
Β Β ΠΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΡΠ΅ ΠΊΡΠΏΠΈΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡ Π² ΠΠΠ Π ΠΈΠ,ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΌΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΈΠΌ ΠΏΠΎ ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ Π·Π°Π΄Π°Π½ΠΈΡ.
Β Β
rezistiv.ru
Β«Π ΠΠ‘ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ» ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΠΈ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΎΡ, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ LTCCΒ» Π² Π±Π»ΠΎΠ³Π΅ Β«ΠΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ, ΠΠΠΠΠ Ρ, ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡΒ»
 © russianspacesystems.ru
Π₯ΠΎΠ»Π΄ΠΈΠ½Π³ Β«Π ΠΎΡΡΠΈΠΉΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΒ» (Π ΠΠ‘, Π²Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π²Β ΠΠΎΡΠΊΠΎΡΠΏΠΎΡΠ°ΡΠΈΡ Β«Π ΠΠ‘ΠΠΠ‘ΠΠΠ‘Β») ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ» ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΠΈΒ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΎΡ, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΒ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramic), Π½Π°Β ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ Π°Π²ΠΈΠ°ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ°Π»ΠΎΠ½Π΅ ΠΠΠΠ‘-2019.
ΠΠ°Β ΡΠ°Π»ΠΎΠ½Π΅ Π ΠΠ‘ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ» Π²ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π²Β Π ΠΎΡΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΒ LTCC-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΎΡ, ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΒ Π΄Π²Π΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π‘ΠΠ§-ΠΏΠ»Π°ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠΎ-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΡΠΈΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² ΡΠΈΠΏΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°. ΠΠ΄Π½Π° ΠΈΠ·Β Π½ΠΈΡ Β β ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΈ, Π΅Π΅Β ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ²ΡΠΎΡΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΡΠ° Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π½Π΅ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ ΠΈΒ Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΡΠ΅Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ LTCC-ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΠΠΒ ΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² (ΠΠ Β«ΠΠΠΒ Π’ΠΒ», Π²Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π²Β Ρ ΠΎΠ»Π΄ΠΈΠ½Π³ Π ΠΠ‘). ΠΠ±Π΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½Ρ Π²Β Π±Π»ΠΎΠΊΠ°Ρ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠΎ-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΡΠ΅ΠΉ Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΡΡΡ Π±ΠΎΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΒ Π½Π°Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π±Π°Π·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π²ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π° ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΠΎΠ³Π°Π±Π°ΡΠΈΡΠ½Π°Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Π°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΠ° Π΄Π»Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ², ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π²Β ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π°. ΠΠ΅Β ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ 150Γ150Γ2,4 ΠΌΠΌ. ΠΠ½Π° ΠΏΡΠ΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½Π° Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ°, ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ ΠΈΒ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π°, Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ Π‘ΠΠ§-Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½, Π²ΠΎΡΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Π²Β ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΠΎΠ².
ΠΠ»Π°Π²Π½ΡΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³Β ΠΠ Β«ΠΠΠΒ Π’ΠΒ» ΠΠ°Π»Π΅ΡΠΈΠΉ Π₯ΠΠΠΠΠΠ: Β«LTCC-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π΅Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Β ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠΎΠ² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ ΠΈΒ Π²ΡΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ Π²Β ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π°Π»ΡΡΠ΅ΡΠ½Π°ΡΠΈΠ²Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΠ°ΠΌ ΠΈΠ·Β ΡΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ° ΠΈΒ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΒ Π½ΠΈΠΌ ΡΡΠ΄Π° ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉΒ».
ΠΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ° Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΠΠΒ Π’Π ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ 200 Π΄ΠΌΒ² ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π°Ρ Π²Β Π³ΠΎΠ΄. Π£ΡΠΏΠ΅ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠ° ΠΏΠΎΒ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎΒ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΈΒ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Ρ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π½Π°Β ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ LTCC ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ Π²ΡΠΉΡΠΈ Π½Π°Β ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΈΒ Π·Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΠΈΡΡ ΠΈΡ Β Π½Π°Β ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 1β500 Π΄ΠΌΒ² ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π°Ρ Π²Β Π³ΠΎΠ΄.
LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramic)Β β ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°ΡΡ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈΒ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΒ ΠΌΠΈΡΠ΅ LTCC-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π΄Π°Π²Π½ΠΎ Π΄ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»Π° ΡΠ²ΠΎΡ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ, ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΠΈΒ Π½Π°ΡΠ»Π° ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Β ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΠΈΒ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠΎΠ² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ. ΠΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ·Β Π‘Π¨Π ΠΈΒ ΠΠ²ΡΠΎΠΏΡ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ, Π½ΠΎΒ Π½Π΅Β ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π½Π°Β ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ LTCC-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π²Β Π ΠΎΡΡΠΈΡ.
sdelanounas.ru
ΠΠ°ΠΊΠ°Π·Π°ΡΡ LTCC ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡ
ΠΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΡΠ΅ Π·Π°ΠΊΠ°Π·Π°ΡΡ Ρ Π½Π°ΡΠ΅ΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»Π΅ΠΉ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎ-ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ LTCC. ΠΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»Π΅ΠΉ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π° ΡΠ΅ΡΡΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ, ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΠ°ΠΌΠΈ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡΠΈΠΌΠΈ ΠΎΠ³ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠΌ ΠΎΠΏΡΡΠΎΠΌ Π² ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ LTCC-ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»Π΅ΠΉ.
ΠΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π·Π°ΠΏΡΡΠΊΠΎΠΌ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ Π½Π°ΡΠΈ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΊΠΎΠ½ΡΡΠ»ΡΡΠΈΡΡΡΡ Π²Π°Ρ ΠΏΠΎ Π½ΡΠ°Π½ΡΠ°ΠΌ ΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡΠΌ Π²Π°ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠ°, ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΊΠ°ΠΆΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΡ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Π²Π°ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ, ΠΏΡΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ².
Β
ΠΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡΒ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°
Β | Π‘ΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΡΠΉ | Π£ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Π΅Π½Π½ΡΠΉ |
ΠΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ | 120 ΠΌΠΊΠΌ | 100 ΠΌΠΊΠΌ |
ΠΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π·Π°Π·ΠΎΡ | 120 ΠΌΠΊΠΌ | 100 ΠΌΠΊΠΌ |
ΠΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ Π² ΡΠ»ΠΎΡΡ | 110, 150, 200, 250, 300, 500, 1000 ΠΌΠΊΠΌ |
Β |
ΠΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΡΡΠ΅ΠΊΠ° ΡΠΎΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ | 3-4 | 6 |
ΠΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² | ΠΎΡ 4 Π΄ΠΎ 16 | Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 16 |
ΠΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΡ | 1 ΠΌΠΌ, 2 ΠΌΠΌ, 5 ΠΌΠΌ | Β |
Π Π°Π±ΠΎΡΠ°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ | 200×200 ΠΌΠΌ | Β |
ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ° | Π΄Π°, ΠΏΠΎΠ»Π½Π°Ρ | Π΄Π°, Π² Π·ΠΎΠ½Π°Ρ |
Π’ΠΈΠΏΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ:
KEKO SK47
Dupont 951
Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ»ΠΎΠ΅Π²: 45, 100, 140, 210 ΠΌΠΊΠΌ.
ΠΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡ – 7.8
Π’Π°Π½Π³Π΅Π½Ρ ΡΠ³Π»Π° ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ – 0.014
Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ – 3 W/mK
Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ – 10 – 25 W/mK
ΠΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ – 5.8 ppm/K
ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² – ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠΎΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠ°Ρ ΠΏΠ°ΡΡΠ°, ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ»ΠΎΡ 8-10 ΠΌΠΊΠΌ, ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ 4 ΠΌΠΠΌ/ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°Ρ
Π Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΊΠΈ – Π½Π° 100 ΠΌΠΊΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΡ.
Π Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ LTCC ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»Π΅ΠΉ Π²ΡΡΡΠ»Π°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎ Π·Π°ΠΏΡΠΎΡΡ.
www.pcbtech.ru
ΠΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π°Ρ.. – ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°
Π!Π’ΠΎΠΆ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½Π°!Π‘ΡΠ°ΡΠΎΠ΄Π°Π²Π½Π° ΠΌΡΡΠ»Π° ΠΎΡΡΠ½ΡΠ»Π°ΡΡ…
ΠΠΎΠΏΡΡΡΠΈΠΌ,Π½Π°Π΄ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΉΠ±ΠΎΡΠΊΠΈ Π΄ΠΈΡΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΌ 10-15ΠΌΠΌ,ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 2-4ΠΌΠΌ ΠΈ Ρ ΠΌΠ°Ρ ΠΎΠ½ΡΠΊΠΎΠΉ Π΄ΡΡΠΎΡΠΊΠΎΠΉ Π² ΡΠ΅Π½ΡΡΠ΅,Π½Ρ,ΠΏΡΡΡΡ 0.3-0.5ΠΌΠΌ.ΠΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ ΡΠ°ΠΉΠ±Ρ Ρ 8ΠΌΠΌ Π΄ΡΡΠΎΠΉ.ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° Π½ΡΠΆΠ½Π° Π½Π΅ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΠ°Ρ(ΡΠΎΠ± Π²ΠΎΠ΄Π° Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π»Π°ΡΡ) ΠΈ ΡΠ΅ΡΠΎΡ ΠΎΠ²Π°ΡΠ°Ρ.
ΠΠ°ΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΊΠ»Π΅Π²Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ?
Β
ΠΠ°Π»Π΅Π΅,ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π° ΡΠ°ΠΊΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Π½Π°Π½Π΅ΡΡΡ ,ΡΠΊΠ°ΠΆΠ΅ΠΌ Π·ΠΎΠ»ΡΡΠΎ?Π Π² Π΄ΡΡΠΎΡΠΊΡ ΡΠΎΠΆΠ΅,Π²Π½ΡΡΡΡ Π½Π° ΡΡΠ΅Π½ΠΊΠΈ?ΠΠ°ΠΊΠΎΠ²Π° ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π²ΠΆΠΈΠ³Π°Π½ΠΈΡ?Π ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎ,ΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΡΠΎ? π
Π΅ΠΆΠ΅Π»ΠΈ ΡΡΠΎ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°, ΡΠΎ Ρ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Π»Π΅Ρ 20 Π½Π°Π·Π°Π΄ Π΄Π΅Π»Π°Π»
Β
Π° Π²ΠΎΠΎΠ±ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π½Π΅ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΠΉ.
ΠΏΠΎΡΠΈΡΠ°Π» ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ»ΠΈΠΊΠΎΠΌ Ρ Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎ…
ΡΡΠΎ ΠΆΠ΅ ΠΆ Π²ΡΡΠ°ΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ!!!!
Β
Π΅ΡΠ»ΠΈ Π²ΠΆΠΈΠ³Π°ΡΡ ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ- Π²ΠΆΠΈΠ³Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π° ΠΏΠ°Π»Π»Π°Π΄ΠΈΠΉ-ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠΎ ΠΏΠ»ΡΡ Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΊΠ° ΡΠ²ΠΈΠ½ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π°.
Π²ΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ- ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½-ΠΌΠ°ΡΠ³Π°Π½ΡΠ΅Π²Π°Ρ ΠΏΠ°ΡΡΠ° ΠΏΠ°ΡΡΠ°, Π²ΠΆΠΈΠ³Π°Π½ΠΈΠ΅ Π² Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠ΅ Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ ΠΎΠΊ 1600 Π³ΡΠ°Π΄ΡΡΠΎΠ².
Π΅ΡΡΡ ΠΈ ΡΡΠ΅ΡΡΡ, Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΡΡΠ°ΡΠ°ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠΏΠΎΡ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-ΡΠΈΡΠ°Π½, Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΈ 800 Π³ΡΠ°Π΄ΡΡΠΎΠ² Π² Π²Π°ΠΊΠΊΡΠΌΠ΅
Π΄Π°Π»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π½Π°ΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ, Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠ΄. ΡΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΠ§ΠΠΠ¬ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅, ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΡΠ°ΡΠ΅ Π»ΠΎΠΏΠ°Π΅ΡΠΎ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ΅ Π° Π½Π΅ ΠΏΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ.
Β
ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ°Π·ΡΠΌΠ΅Π²Π°ΡΡ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΎΡ Ρ ΡΠΎΠΌΠ°, Π²Π°Π½Π°Π΄ΠΈΡ, ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° ΠΈ Π²ΡΠΎΡΡΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ.
Β
ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π΅ΡΠ΅ Π·ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ( ΡΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Ρ ΡΠ°ΠΌ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π») Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Π΅Π²ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π½Π° Π²ΠΎΠΆΠΆΠ΅Π½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΠ°Π»Π»Π°Π΄ΠΈΡ.
Β
Π² ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌ, ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π²Π΅ΡΡ Π½Π΅Π³ΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ, ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΉΠ½ΡΠ΅ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅.
Π² Π³Π°ΡΠ°ΠΆΠ΅ Π½Π° ΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅ ΠΈ Π±Π΅Π· ΠΎΠΏΡΡΠ° Π²ΡΡΠ΄ Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡΡ
www.chipmaker.ru
ΠΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠ°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° (LTCC). ΠΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π°. Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ. ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ.
11 ΠΠΏΡΠ΅Π»Ρ 2011
ΒΠ’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ (LTCC) ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π½Π° ΠΏΡΠΎΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ Π»Π΅Ρ. Π£ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ LTCC ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π»ΠΎ ΠΊ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ. ΠΡΠΎ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ»ΠΎ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΊ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΎ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ, ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ. ΠΠΎΠ²ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Π² ΡΠ°ΠΊΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΠΌΡΠ½ΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ, ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½Π°, Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡΠ½Π°Ρ, Π²ΠΎΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΠΈ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ°. Π Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ°ΡΡΠ΅ ΠΌΡ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠΈΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π°, ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ ΡΠ²Π»ΡΠ»ΠΈΡΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌΠΈ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΠΈ (FR-4, Ξ΅r = 3,5 – 4,5) ΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΠΈ (Ξ΅r = 10 – 12). Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π»ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π±Ρ, Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ» Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ, ΠΈ, Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, Π½Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΈΠΌΠ΅Π» Π±Ρ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ, ΡΡ ΠΎΠΆΠΈΠ΅ Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ. ΠΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ» Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠ°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° (Low Temperature Cofired Ceramic (LTCC)).
ΠΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΈΠ· ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ Al2O3 (High Temperature Cofired Ceramic – HTCC-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ). ΠΠ°Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π»ΡΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ (Π’ β₯15000C), ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ»ΠΈΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΈΠ· ΡΡΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ²: Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ° ΠΈ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½Π°. ΠΡΠΎ Π²Π½ΠΎΡΠΈΠ»ΠΎ ΡΡΠ΄ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ², Π² ΡΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°. Π‘Π²ΠΎΡ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅Π΅ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Π°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»Π° Ρ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ LTCC, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΡ Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠΎ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π°ΠΌΠΈ (ΡΠΈΡ. 1). Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΠ»Π°ΡΡ Π΄ΠΎ 8500Π‘, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π»ΠΎ ΠΊ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡ ΡΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°. Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ LTCC ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΡ, ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π½ΠΈΠΆΠ΅ 10000C.
Π ΠΈΡ. 1 Π‘ΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈΠΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ Π‘ΠΠ§ ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½Π΅Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΠ§ ΠΈ Π‘ΠΠ§ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ². ΠΠΎ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ FR-4, Π° ΠΏΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΈΠΌ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΠΌΠ° Ρ Π°Π»ΡΠΌΠΎΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ.
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ
Π‘ΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ² ΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅:
- ΠΡΠ΅Π½Ρ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄ΠΎ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ²ΡΡ Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½. Π Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π²Π°ΡΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡ 6 Π΄ΠΎ 9, Π° ΡΠ°Π½Π³Π΅Π½Ρ ΡΠ³Π»Π° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΎΡ 0,001 Π΄ΠΎ 0,006 Π² Π³ΠΈΠ³Π°Π³Π΅ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅. Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ (Ag, Au, Pt).
- ΠΡΠ΅Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄Π½Π°Ρ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ². ΠΡΠΎ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ (5-7 ΠΌΠΊΠΌ/ΠΌΠΎΠ‘), Π½ΠΎ ΠΈ ΠΈΠ·-Π·Π° ΡΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ.
- ΠΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ ΠΠ’Π . ΠΠ’Π Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΎΠΊ ΠΊ ΠΠ’Π ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ (Si, GaAs, InP). ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΌΠΎΠ½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ.
- Π₯ΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ. Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ LTCC ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 2-4 ΠΡ/ΠΌΠ, ΡΡΠΎ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ Π²ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (0,1-0,5 ΠΡ/ΠΌΠ). Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ LTCC ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½Π° Π·Π° ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ² Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ (Π΄ΠΎ 20 ΠΡ/ΠΌΠ).
- ΠΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ 3D ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡΠΈ, ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΡ, ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ, Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΡ (ΡΠΈΡ. 2).
- ΠΠ΅ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ. ΠΠ»ΠΎΡΠ½Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° LTCC ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅Ρ Π²Π»Π°Π³Ρ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠ° ΠΈΠ· ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ Π² Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠ΅ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π±Π΅Π· Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΡΠΈΡΡ. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ LTCC ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π² ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π²ΠΎ Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Π΅ (Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ- ΠΆΠ΅Π½Π° Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ Π²Π»Π°Π³ΠΈ).
Π Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊ ΡΡΠΎΠΌΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ LTCC Π΄ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»Π° ΡΠ²ΠΎΡ Π½Π°Π΄ΡΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ Π·Π°Π΄Π°Ρ Π‘ΠΠ§ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡΠΌ, LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π½Π°ΡΠ»Π° ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠΎΠ² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ ΠΈ Π²ΡΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π°Π»ΡΡΠ΅ΡΠ½Π°ΡΠΈΠ²Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΠ°ΠΌ ΠΈΠ· ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ° ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ.
ΠΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΡ Ρ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠ°ΠΌΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π² Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ, ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΠΈΡΠ΅Π»ΡΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅, ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΠΌΡΠ½ΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΡΡ , ΡΠΏΡΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ ΠΈ Π² Π²ΠΎΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ . ΠΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² ΡΠΆΠ΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΡΡΡ Π² Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ. ΠΠ·Π½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»Π°ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π‘ΠΠ§ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ². ΠΠΎ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΈΠΌ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π°Π΄ΡΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° Π½Π°ΡΠ°Π»Π° Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ (ΠΠΠΠ‘-ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²) ΠΈ ΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ.
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° LTCC.
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΈΠ· LTCC ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ (ΡΠΈΡ. 3) Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΠΏΠ΅Π½Π·ΠΈΠΈ ΠΏΡΡΡΠΌ ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ°, ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΡΠ·ΡΡΡΠΈΡ , ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΡΡΡΠΈΡ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΠΊ. ΠΠ· ΡΡΡΠΏΠ΅Π½Π·ΠΈΠΈ Π²ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π»Π΅Π½ΡΠ°. ΠΠ΅Π½ΡΠ° Π½Π°ΡΠ΅Π·Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π° Π»ΠΈΡΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² Π² ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ, Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠ°ΡΡΠΎΠΉ ΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΏΠ°ΡΡ. ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΡΡΡ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ, Π»Π°ΠΌΠΈΠ½ΠΈΡΡΡΡΡΡ, ΡΠ°Π·ΡΠ΅Π·Π°ΡΡΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΈ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°ΡΡΡΡ.
Π ΠΈΡ. 3 ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ ΠΈΠ· Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΡΠ°ΠΏΠ° ΠΈΠ·ΠΎΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°ΠΌΠΈΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ 60-70Β°Π‘ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΡΡΠ°ΠΏΠ° Π²ΡΠΆΠΈΠ³Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ 450-500OΠ‘ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 2-2,5 ΡΠ°ΡΠΎΠ², Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 850OΠ‘ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 10 ΠΌΠΈΠ½ΡΡ (ΡΠΈΡ. 4). ΠΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ (Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ, ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠΎ). ΠΡΠΎ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ² LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ»ΡΡΡΠΈΡΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ° ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡΠ², Π° ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠ° (Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ ) Π΄Π°ΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΡ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΠΈ.
ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° LTCC ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΠ΅Ρ ΡΠ²ΠΎΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ.
ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, Π΄Π°ΡΡ ΡΡΠ°Π΄ΠΊΡ Π² ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°Ρ Π½Π° 9-15% Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΠΈ Π»ΠΈΡΡΠΎΠ² (ΠΎΡΡ X, Y) ΠΈ Π½Π° 10-30% Π² Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ, ΠΏΠ΅ΡΠΏΠ΅Π½Π΄ΠΈΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΠΈ Π»ΠΈΡΡΠΎΠ² (ΠΎΡΡ Z). ΠΡΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ LTCC, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ /ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΏΠ°ΡΡ. ΠΠ°ΡΡΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΡΠ°Π΄ΠΊΠΈ, ΡΡ ΠΎΠΆΠΈΠΉ ΡΠΎ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π»ΠΈΡΡΠΎΠ².
Π ΠΈΡ. 4 Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»Ρ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π° Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° LTCC ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ, ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΈ, ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠΈ, Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΡΡΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ². ΠΡΠ΅ ΡΡΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΡΡΡ Π² ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΌ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ. Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ β ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠΉ, Π½Π°ΡΠΊΠΎΡΠΌΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ, ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΈΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΡΠΈΠΉ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Π°Ρ LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΈ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Ρ Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΠΌ.
ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΡΡΡ
ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΡΡΡ (ΡΠΈΡ. 5), ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ· ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΠΏΠ΅Π½Π·ΠΈΠΈ, ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Π‘ΠΠ§ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. ΠΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π»ΠΈΡΡΠΎΠ² Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΠΎΡΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° LTCC ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ². ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π»ΠΈΡΡΠΎΠ² ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ², ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π½Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ°Ρ .
Π ΠΈΡ. 5 ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΡΡΡΠΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ (Al2O3, Si2O3, PbO ΠΈ Ρ.Π΄.). Π‘Π²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π»Π΅Π½ΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Ρ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ°ΠΌΠΈ Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ (ΠΏΡΠ΅Π·ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΈ, ΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Ρ.Π΄.) Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ. ΠΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±ΡΠ°Π½ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Ρ Π°Π»ΡΠΌΠΎΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ΠΎΠΌ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ.
LTCC ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΠ΅Ρ ΡΠ²ΠΎΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΎΡ ΠΈ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π² Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ΅ (ΡΠΈΡ. 6). ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΠΈ k ΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ. ΠΠ΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡΡΡΡ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΠΈ k ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ k. ΠΡΠΎ Π΄Π°ΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠΌΠΊΠΎΡΡΠΈ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΡ GaAs Π‘ΠΠ§ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ.
ΠΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠ°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π΅Ρ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ², ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ.
Π ΠΈΡ. 6 Π₯Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π½Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ°Ρ (Ferro Π6-S)ΠΠ°ΡΡΡ
ΠΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ, ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΡΠ΅ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ, ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΡΡ LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°, ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ (ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ). ΠΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΡΠ°ΡΠ°ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈ ΠΈ Π΄Π°ΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΡΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ LTCC ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΡΠ°Π΄ΠΊΠ° ΠΈ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΠ½ΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΠΌΡ Ρ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ. ΠΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΠ°ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π±ΡΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΡ Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ. ΠΡΡΠΏΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΠΏΡΠ΅Π΄Π»Π°Π³Π°ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½ΡΠ΅ LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅/ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±ΡΠ°Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ.
ΠΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ Π‘ΠΠ§ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡΡ LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ. ΠΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠ΅ Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠΌΡΠΌΠΈ Ρ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡΠΌΠΈ Π² Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ²ΡΡΠ΅ 1 ΠΠΡ. ΠΡΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ LTCC ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° + ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ). ΠΠΎΡΠ΅ΡΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Ρ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΠΌ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄ΠΎΠΉ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ²ΡΠ·ΠΊΠΈ Π² ΠΏΠ°ΡΡΠ°Ρ , Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈ ΡΠ΅ΡΠΎΡ ΠΎΠ²Π°ΡΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ Π΄ΠΎΡΠΎΠΆΠ΅ΠΊ. ΠΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ, ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎ Π΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ°, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ (2,3 ΠΠΌ-ΡΠΌ Ρ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ² 1,6 ΠΠΌ-ΡΠΌ Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ°). ΠΡΠ΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ Π½Π° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ° Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π°Π΄ΡΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ²Π°ΡΠΊΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΈΡΠΌΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ° ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Ρ. Π‘ΠΌΠ΅ΡΠ°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠ΅Π±Π΅ Π΄ΠΎΡΡΠΎΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². Π ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Π° ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠΎ β Π΄Π»Ρ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΡ . ΠΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π΄Π²ΡΠΌΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ°ΡΡ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ° ΠΠΈΡΠΊΠ΅Π½Π΄Π°Π»Ρ (Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ°). Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΈΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ.
ΠΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ LTCC ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΡΠ΅Π΄Π»Π°Π³Π°ΡΡ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠ², Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΡ Π² ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡ. Π Π΅Π·ΠΈΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ Ρ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΡ 10 Π΄ΠΎ 10000 ΠΠΌ/ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°Ρ Ρ Π΄ΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ Β±10% ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Β±200Ρ 106 C1. ΠΠ°ΡΠ°ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠ΅Π³Π½Π΅ΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½Ρ Ρ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡΡ ΠΎΡ 5 Π΄ΠΎ 2000, Ρ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ 10 ΠΌΠΊΠΌ, Π½ΠΎ Π½Π΅ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΡΠ΄Π°ΡΡΡΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΠ°ΡΡ ΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ. Π Π°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ Π² Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ Π΄ΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΡΡΠ΅ΠΌΡΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΡΠ΅ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΈ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠΉ.
ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Ferro Π΄Π»Ρ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ
ΠΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ Ferro ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»Π° ΡΠΈΡΠΎΠΊΡΡ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΡΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π‘ΠΠ§ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌ, Π½Π°Π΄ΡΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.
ΠΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠ°Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° Ferro Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 20 Π»Π΅Ρ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π½Π° ΡΡΠ½ΠΊΠ΅ Π‘ΠΠ§ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. ΠΠ½Π° Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π²Π΅Π΄ΡΡΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ°Π΄Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ, Π°Π½ΡΠ΅Π½Π½, ΡΠΈΠ»ΡΡΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΠΌΡΠ½ΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ. ΠΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΡΠ΅ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Ferro Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ Π»ΠΈΠ΄ΠΈΡΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΈ Π½Π° ΡΡΠ½ΠΊΠ΅.
LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠ΅Π±Ρ ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Π‘ΡΠ΅Π΄ΠΈ Π½ΠΈΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊ, ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π»Π΅Π½ΡΡ ΠΈ Π»ΠΈΡΡΡ, ΠΏΠ°ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΡ ΠΈ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΏΠ°ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ, ΠΏΠ°ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ². ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±ΡΠ°Π½Ρ Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ferro Π΄Π»Ρ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ ΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²:
Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° A6-M
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ LTCC ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Ferro. ΠΠ°ΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² (Π΄ΠΎ 110 ΠΠΡ) Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²Π½ΠΎΡΠΈΠΌΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ. ΠΠ°Π½Π½Π°Ρ LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π° Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΊ Π½Π°Π΄ΡΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π»Π΅Π½ΡΡ. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°.
Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° A6-S
ΠΠ»ΡΡΠ΅ΡΠ½Π°ΡΠΈΠ²Π° A6-M Π΄Π»Ρ Π‘ΠΠ§ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ. A6-S ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π·Π°ΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°Π»ΡΡΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ Π±ΠΎΡΠΎ-ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° Π΄Π»Ρ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΈΡ Π‘ΠΠ§ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ², ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΎΡ 2,45 Π΄ΠΎ 100 ΠΠΡ. LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ (Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ + ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠΎ). ΠΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π»Π΅Π½ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ°.
Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° L8
ΠΡΠ΄ΠΆΠ΅ΡΠ½Π°Ρ Π°Π»ΡΡΠ΅ΡΠ½Π°ΡΠΈΠ²Π° LTCC ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ A6. Π‘ΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π΄Π»Ρ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»Π΅ΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ LTCC ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ². Π‘ΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ K ΠΈ ΠΌΠ°Π»ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ Π΄ΠΎ 30 ΠΠ³Ρ (ΡΠΈΡ. 7, 8). ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΈ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΠΌΡΠ½ΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ, ΡΠ°Π΄Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ, Π°Π²ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, ΡΠΏΡΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°Ρ. ΠΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π»Π΅Π½ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ°. Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈ ΠΌΠ° Ρ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ, ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡΠΌΠΈ, ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ.
Π ΠΈΡ. 7 ΠΠ°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Π΄ΠΈΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΡ (ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° Ferro L8) Π ΠΈΡ. 8 ΠΠ°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ°Π½Π³Π΅Π½ΡΠ° ΡΠ³Π»Π° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΎΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΡ (ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° Ferro L8)ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΡ Ferro, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π½ΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½Π°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ Π»ΠΈΡΡΠ°ΠΌΠΈ. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΡ Ferro ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΊ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΠ’Π ΠΈ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΡΠ°Π΄ΠΊΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π»ΠΈΡΡΠΎΠ², Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ. ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π½Π΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΡΡ ΠΏΠΎΡΡ ΠΈ ΠΏΡΡΡΠΎΡΡ. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ ΠΈ Π½Π΅ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½ Π² ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ. ΠΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½Π°Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π² Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅ΠΌ, Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ, ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ²Π°ΡΠΊΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π»Π΅Π½ΡΠΎΡΠ½ΡΡ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠ².
ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»Π° ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΠ΄Ρ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ. ΠΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ 3D ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ, Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ², ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ Π³Π΅ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ LTCC ΠΊΠ°ΠΊ Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ, Π³Π΄Π΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ Π½Π°Π΄ΡΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ.
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ LTCC ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠ΅Π±Ρ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°. Π£ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ LTCC ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π²Π΅Π΄ΡΡ ΠΊ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ, ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΡΠ΅ Π² ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠΌΠΈ ΡΠ±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² (Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ°, ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡΠ½Π°Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ²Π°ΡΠΊΠ° ΠΈ Ρ.Π΄). ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠΎΡΡΠ°Π²Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΡΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. Π‘ ΡΠΎΡΠΊΠΈ Π·ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΉ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΡΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ Π½Π° ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΡΡΠ°Π΄ΠΊΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² Π»ΠΈΡΡΠΎΠ², ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΌ ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².
- ΠΠ²ΡΠΎΡ, Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ:
- Π ΠΎΠΌΠ°Π½ ΠΠΎΠ½Π΄ΡΠ°ΡΡΠΊ, Π²Π΅Π΄ΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ
- ΠΡΠ΄Π΅Π»:
- ΠΠ°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²
- Email:
- [email protected]
- ΠΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅:
- ΠΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ Π±ΡΠ»Π»Π΅ΡΠ΅Π½Ρ Β«Π‘ΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΈΒ», Π°ΠΏΡΠ΅Π»Ρ 2011, β5
ostec-materials.ru
Π£Π½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ Π² ΠΠΠ Π’Π
Π‘ΠΎΠ²Π΅Ρ ΡΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΡΡΠΈΠΉ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΈΠ» ΠΠ Β«ΠΠΠ Π’ΠΒ» ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Ρ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ (Low Temperature Co-fired Ceramic β LTCC).
ΠΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΠΈ LTCC-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. ΠΠ½ΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ Π³Π΅ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ.
Π ΠΠΠ Π’Π ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ° Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΡΡ 300 ΠΊΠ². ΠΌ Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΎΡΡ Π² ΠΌΠ°Π΅ 2012 Π³ΠΎΠ΄Π°. Π‘Π΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΡΡΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ, ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠ΅Π΅ 8 ΠΊΠ»Π°ΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ.
Π Π ΠΎΡΡΠΈΠΈ Π½Π΅ Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΠΎΠ² ΠΏΠΎ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ΅, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΠΎΠΈΡΠΊ ΠΊΠ²Π°Π»ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠΎΡΡΡΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π±ΡΠ» Π½Π΅ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ΅ΠΉ.
Β«ΠΡ ΠΏΠΎΠ΄Π±ΠΈΡΠ°Π»ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΠΎΠ², Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΠΈΡΡΡΡ, Π°Π΄Π°ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΈ ΠΎΡΠ²Π°ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΏΡΠΈΠ³Π»Π°ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΠΌΠ΅ΠΆΠ½ΡΡ ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»Π΅ΠΉ β ΡΠ°ΡΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅Ρ Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ ΠΠΠ Π’Π ΠΠ°Π»Π΅ΡΠΈΠΉ Π₯ΠΎΠ΄ΠΆΠ°Π΅Π². β Π‘Π΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΈΠ² ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ° Π½Π°ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°Π΅Ρ 7 Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΊΠ²Π°Π»ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΎΠ²-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΎΠ²Β».
ΠΠ±ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΡΡΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ° ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΎ Π² Ρ ΠΎΠ΄Π΅ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ Π·Π°ΠΊΠ°Π·ΠΎΠ². ΠΠ»Π°Π΄ΠΈΠΌΠΈΡ ΠΠΎΠ³ΠΎΡΠ΅Π»ΡΡΠΊΠΈΠΉ, Π½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΈΠΊ ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ° ΠΠ’Π-5 ΠΠΠ Π’Π ΡΡΠΈΡΠ°Π΅Ρ, ΡΡΠΎ Β«ΠΏΡΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π΅ ΠΎΠ±ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΡΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ ΡΡΠ°Π·Ρ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΡΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ, ΠΎΡΠ²Π°ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΠ²Π»Π°Π΄Π΅Π²Π°ΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌΒ».
Π‘Π΅ΠΉΡΠ°Ρ Π² ΠΠΠ Π’Π ΠΈΠ΄Π΅Ρ ΠΎΡΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ°. ΠΠ° Π΅Π³ΠΎ Π±Π°Π·Π΅ ΠΏΠ»Π°Π½ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ΅Π½ΡΡ ΠΏΠΎ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Ρ ΡΠ·Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»Π΅ΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ Π‘ΠΠ§-Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ LTCC-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΡΡΠΈΠΉ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π ΠΠ‘.
ΠΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΠΠ Π’Π ΡΠΆΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ 200 ΠΊΠ². Π΄ΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π°Ρ Π² Π³ΠΎΠ΄.
ΠΠΎ ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ, Π² Π±Π»ΠΈΠΆΠ°ΠΉΡΠΈΠ΅ Π³ΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π²ΡΡΠ°ΡΡΠΈ Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ°Π·.
Β«ΠΡ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅ΠΌ ΠΊΡΠ»ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°, Π½Π°ΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΈΠΈ, β ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π΅Ρ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π΄ΠΈΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡ ΠΠ Β«ΠΠΠ Π’ΠΒ» ΠΠ½Π°ΡΠΎΠ»ΠΈΠΉ Π¨ΠΈΡΠ°Π½ΠΎΠ². β ΠΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ, Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ, Π° Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ β ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ LTCC-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π» ΡΠΎΡΡΠΈΠΉΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΡΒ».
russianspacesystems.ru